Occasion STEAG / AST / MATTSON AST 2800 #293749237 à vendre en France
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STEAG/AST/MATTSON AST 2800 est un équipement de traitement thermique rapide très avancé conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Ce système offre un contrôle précis de la température et des profils de chauffage uniformes pour permettre le recuit thermique rapide des plaquettes semi-conductrices dans un environnement de production. Avec sa technologie de pointe et ses caractéristiques innovantes, l'AST AST 2800 est capable de répondre aux exigences exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs. Une des caractéristiques clés de STEAG AST 2800 est sa capacité à haute température, lui permettant d'atteindre des températures allant jusqu'à 1250 degrés Celsius. Ceci permet à l'unité de réaliser un large éventail de procédés de recuit, y compris l'activation dopante, l'oxydation et la nitridation, entre autres. La machine est équipée de plusieurs zones de chauffage et de mécanismes avancés de contrôle thermique pour assurer un chauffage uniforme de la surface de la plaquette, ce qui permet d'obtenir une répétabilité et une fiabilité élevées du processus. L'AST 2800 utilise une technique de traitement thermique rapide, où la plaquette est chauffée à la température désirée en peu de temps, typiquement en quelques secondes à quelques minutes. Ce cycle de chauffage et de refroidissement rapide est essentiel pour réaliser des procédés de recuit efficaces tout en minimisant le budget thermique de la plaquette. L'outil est équipé d'une lampe haute puissance qui assure un chauffage intense et homogène sur la surface de la plaquette, assurant un contrôle précis de la température et une uniformité thermique. En plus de sa capacité à haute température et de ses vitesses de traitement rapides, le MATTSON AST 2800 est conçu pour des environnements de production à haut débit. L'actif dispose d'un double mécanisme de verrouillage de charge des plaquettes qui permet un traitement continu des plaquettes, minimisant le temps de ralenti et maximisant la productivité. Le modèle intègre également des capacités d'automatisation avancées, telles que la gestion des recettes et la surveillance des processus, afin de rationaliser le fonctionnement et d'assurer la cohérence des résultats des processus. STEAG/AST/MATTSON AST 2800 est équipé d'une interface conviviale qui permet aux opérateurs de programmer et de contrôler facilement les processus de recuit. L'équipement offre une gamme de paramètres de processus personnalisables, tels que les taux de rampe, les temps de trempe et les profils de refroidissement, permettant aux utilisateurs d'adapter le processus de recuit pour répondre à des exigences spécifiques. Des outils de suivi et de diagnostic en temps réel sont également intégrés au système pour assurer le contrôle des processus et optimiser les performances. En outre, l'AST AST 2800 est conçu avec la sécurité et la fiabilité à l'esprit. L'unité comprend un blindage thermique robuste et des dispositifs de sécurité pour protéger les opérateurs et prévenir la surchauffe des composants de la machine. L'outil comprend également des mécanismes avancés de contrôle du débit de gaz et de purge pour assurer un environnement de traitement propre et prévenir la contamination des plaquettes. Dans l'ensemble, le STEAG/AST/MATTSON STEAG 2800 est un actif de pointe de traitement thermique rapide qui offre une capacité à haute température, des vitesses de traitement rapides et des fonctionnalités d'automatisation avancées pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Avec son contrôle précis de la température, ses profils de chauffage uniformes et ses capacités à haut débit, STEAG AST 2800 est une solution idéale pour réaliser des processus de recuit efficaces et fiables dans un environnement de production.
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