Occasion STEAG / AST / MATTSON Helios #9193169 à vendre en France
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Vendu
ID: 9193169
Taille de la plaquette: 12"
Rapid Thermal Processor (RTP), 12"
RTA / Spike anneal
Pressure: ATM
Temperature: 1150°C
Front interface: (3) Load ports
Front end: Ball room
Platform:
RORZE Robot 700 Dual arm
Upper arm: Metal blade
Lower arm: QUARTZ Blade
Type: TDK
TAS300
RFID Foup reader
GEM: Ethernet (HSMS)
MATTSON MMC (P/N: 3001068)
MATTSON Sequencer (P/N: 17002560)
MATTSON I/O Controller (P/N: 17000910)
(8) Cooling stations
(4) Dummy stations
Process module 1, 2:
MATTSON Wafer pyro (P/N: 17001048)
MATTSON Lamp pyro (P/N: 17001040)
MFC Model unit
Gas 3 / UFC 8100 / N2 / 20 SLM
Gas 4 / UFC 3101 / N2 / 150 SLM
Gas 7 / UFC 8100 / O2 / 20 SLM
Gas 8 / UFC 3101 / O2 / 150 SLM
Gas 9 / UFC 8100 / O2 / 2 SLM
Process Quartzware: Standard
Electric:
Transformer
UPS Internal
Power supply: 480 V.
STEAG/AST/MATTSON Helios est un processeur thermique rapide (RTP) conçu pour faciliter rapidement et avec précision le traitement thermique de divers matériaux. Utilisant une technique connue sous le nom de traitement thermique rapide (RTP), il peut rapidement ramper et refroidir les substrats et les matériaux ainsi que réaliser une variété de traitements thermiques précis. La conception technologique avancée derrière ce RTP lui permet de manipuler rapidement des températures de 50 ° C à 1300 ° C En outre, l'équipement est capable de le faire en aussi peu que deux secondes, ce qui en fait un outil très fiable pour le traitement rapide de nombreux matériaux différents. AST Helios offre un traitement thermique uniforme de haute qualité du substrat dans des atmosphères de haute pureté ainsi qu'une variété d'autres atmosphères de processus. Le système est également capable de maintenir une excellente homogénéité thermique sur les grandes plaquettes de substrat, assurant des résultats fiables et reproductibles sur de nombreux matériaux de substrat, y compris les métaux, les polymères et les composés à base de silicium et de silicium. En outre, l'unité dispose d'un pyromètre optique avancé et de lampes à halogénure métallique sur mesure qui fournissent un excellent niveau de contrôle et de surveillance des processus, garantissant que tous les traitements thermiques sont facilement répétables et précis. Ceci permet en outre aux utilisateurs de surveiller et de réagir aux changements brusques de température afin d'assurer le maintien du substrat dans des conditions optimales pendant la durée de son traitement. La machine est également intrinsèquement robuste en raison de sa construction stratégique. Ses absorbeurs de vibrations de qualité industrielle et ses systèmes de mouvements mécaniques de table précis assurent le déroulement précis et efficace du processus. Dans l'ensemble, STEAG Helios est un processeur thermique rapide fiable et très efficace qui est utilisé pour un large éventail de projets de traitement de matériaux et de recherche. Sa précision, sa vitesse, sa répétabilité et son efficacité en font un investissement intéressant pour ceux qui recherchent une méthode fiable et précise de traitement thermique.
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