Occasion STEAG / AST / MATTSON Helios #9219024 à vendre en France

STEAG/AST/MATTSON Helios est un processeur thermique rapide qui utilise la technologie du traitement thermique rapide (RTP). Il s'agit d'un procédé à haut débit et rentable pour la production de plaquettes semi-conductrices. AST Helios est conçu pour fournir un traitement thermique précis, répétable et efficace dans de multiples applications qui comprennent le recuit, la diffusion et les processus d'oxydation. L'équipement est configuré avec une conception de four prête à l'intégration, des capacités de mesure multiples et des caractéristiques de sécurité intégrées. STEAG Helios utilise un design de four polyvalent avec deux zones de chauffage et deux zones de refroidissement capables d'atteindre des températures de 1100 ° C Le processeur permet un contrôle précis du profil thermique rapide, avec des transitions de température de 30 à 500 ° C/seconde et des temps de séjour de 10 à 60 secondes, ce qui le rend adapté à un traitement rapide et précis. De plus, le système de distribution de gaz du processeur offre une souplesse dans le contrôle atmosphérique, permettant de créer des atmosphères de type azote, oxygène et argon. Pour assurer la sécurité de l'unité, la chambre de procédé est équipée de mesures de sécurité redondantes comprenant un moniteur de gaz, des capteurs de pression, des thermocouples et des embouts de porte scellés. MATTSON Helios est capable de surveiller avec précision un processus à l'intérieur d'une chambre, avec des pyromètres optiques intégrés surveillant les potentiels des plaquettes, et est capable d'ajuster les températures dans les 2 mA de la consigne. Le processeur est conçu pour s'intégrer avec d'autres équipements et utiliser une plate-forme de contrôle, indépendante du support informatique, permettant une configuration facile et rapide des paramètres de processus désirés. En outre, le processeur est équipé d'une interface utilisateur graphique conviviale (interface graphique) pour un fonctionnement et un contrôle faciles. Helios est un processeur thermique rapide efficace et efficace pour de multiples applications dans la production de plaquettes semi-conductrices, et est conçu pour répondre aux exigences de qualité les plus élevées pour une gamme variée de produits et de procédés. La machine offre un contrôle précis des profils de température, des caractéristiques de sécurité, des pyromètres optiques intégrés et une interface utilisateur facile à utiliser, ce qui en fait un choix idéal pour un traitement thermique rapide.