Occasion STEAG / MATTSON / AST 2800 Epsilon #9139817 à vendre en France

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ID: 9139817
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2002
RTP System, 8" System power: 43kw,208V, 60Hz Software version: Windows NT4.0 SHS 1.42 Front door type: Auto Chamber door type: Cylinder type Carrier stage rotation: Rotation Monitor front / rear: 2EA Gem interface 4-Color signal tower UPS System (2) Gas inlet: Bottom Stage assign Cool stage Dummy stage Process stage Total: 5EA 2 1 2 Gas system Model Gas Name Scale MFC1 Unit UFC-8160 N2 30L (A2093010302) MFC2 UNIT UFC-8160 O2 10L(A2093010702) MFC3 UNIT UFC-8160 O2 10L(A2093010602) MFC4 UNIT UFC-8160 N2 10L(A2093010802) MFC5 IPC Module: Booting check ILC Module: Power Supply check PWM Board 1,2 Check POD Board check INT Board check MIB Board check SEC Board check EPC486 Hard drive check Control rack 1: EOCU(ECCU) Board check BLCU Board check MCU Board check Power supply check (1~4) Control rack 2: LCCU Board check LCL 1,2 Board check SMB Board Check SLSU Board 1,2 check LVU Board check LCU Board X2 check WCU Board U check TCA Module check Control rack 3: PCU Board check PDCU Board check PIO Board check PDU Board check PSU Board check PVC Board check PVU Module check WVU Board check DVU Module check Robot: Controller check Moving check Aligner: Controller check Align check O2 Analyzer: Display unit check Sensor unit check Pyrometer check Terminal box check Lamp: Fail check (1 ~ 38 ) 2002 vintage.
STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon est un processeur thermique rapide (RTP) utilisé par les industries semi-conductrices et électroniques pour le traitement efficace des appareils. En utilisant les capacités de traitement à chaud et à froid les plus modernes, AST 2800 Epsilon est en mesure de fournir un traitement thermique sophistiqué des structures et substrats des appareils. Il obtient des résultats de haute qualité tout en minimisant le temps et le coût. STEAG 2800 Epsilon est équipé de deux chambres de traitement thermique indépendantes, pouvant atteindre chacune des températures allant jusqu'à 1100 ° C Chaque chambre est également équipée des dernières capacités de chauffage, de refroidissement et de cyclage thermique du substrat. Cela permet d'atteindre une grande variété de profils thermiques. 2800 La précision et la précision d'Epsilon sont assurées par des systèmes de contrôle de température avancés et des sondes de rétroaction. Des mesures de température sont prévues sur le haut, le bas et les côtés de la chambre pendant que le processus s'exécute, éliminant le potentiel de chauffage inégal. Divers types de navires peuvent être utilisés dans les chambres de procédés MATTSON 2800 Epsilon. Cela comprend le quartz, l'aluminium, la céramique et les récipients en verre. Les broches d'alignement à l'intérieur des chambres empêchent les navires de tourner pendant que le processus est en cours. Le fluide de procédé des deux chambres peut être filtré pour protéger les parois des récipients contre les impuretés. Cela se fait avec une variété de filtres, tels que les filtres métalliques, les filtres à film et les filtres à membrane, qui peuvent être installés in situ. Les systèmes de chauffage et de refroidissement STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon sont conçus pour offrir un traitement thermique rapide et uniforme. Avec l'aide de contrôleurs performants, les deux chambres peuvent contrôler leur température et leur timing de manière indépendante avec une extrême précision. Cette conception en même temps permet d'économiser du temps et de l'énergie, ce qui permet des traitements thermiques plus rapides et plus efficaces. AST 2800 Epsilon offre également la flexibilité de la surveillance et du fonctionnement à distance via les systèmes de contrôle numérique intégrés, qui offrent divers journaux de données système, alertes d'erreurs critiques, et d'autres fonctionnalités. Il offre également une interface utilisateur avancée pour faciliter l'utilisation. Dans l'ensemble, STEAG 2800 Epsilon est un RTP avancé, capable de fournir des traitements thermiques uniformes, rapides et précis d'une grande variété de substrats et de structures de dispositifs. Grâce à ses contrôleurs puissants, ses cycles thermiques rapides et son interface utilisateur facile, il offre une solution économe en énergie et rentable pour le traitement des appareils.
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