Occasion STEAG / MATTSON / AST 2800 Epsilon #9139817 à vendre en France
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Vendu
ID: 9139817
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2002
RTP System, 8"
System power: 43kw,208V, 60Hz
Software version: Windows NT4.0 SHS 1.42
Front door type: Auto
Chamber door type: Cylinder type
Carrier stage rotation: Rotation
Monitor front / rear: 2EA
Gem interface
4-Color signal tower
UPS System
(2) Gas inlet: Bottom
Stage assign Cool stage Dummy stage Process stage
Total: 5EA 2 1 2
Gas system Model Gas Name Scale
MFC1 Unit UFC-8160 N2 30L (A2093010302)
MFC2 UNIT UFC-8160 O2 10L(A2093010702)
MFC3 UNIT UFC-8160 O2 10L(A2093010602)
MFC4 UNIT UFC-8160 N2 10L(A2093010802)
MFC5
IPC Module: Booting check
ILC Module:
Power Supply check
PWM Board 1,2 Check
POD Board check
INT Board check
MIB Board check
SEC Board check
EPC486 Hard drive check
Control rack 1:
EOCU(ECCU) Board check
BLCU Board check
MCU Board check
Power supply check (1~4)
Control rack 2:
LCCU Board check
LCL 1,2 Board check
SMB Board Check
SLSU Board 1,2 check
LVU Board check
LCU Board X2 check
WCU Board U check
TCA Module check
Control rack 3:
PCU Board check
PDCU Board check
PIO Board check
PDU Board check
PSU Board check
PVC Board check
PVU Module check
WVU Board check
DVU Module check
Robot:
Controller check
Moving check
Aligner:
Controller check
Align check
O2 Analyzer:
Display unit check
Sensor unit check
Pyrometer check
Terminal box check
Lamp: Fail check (1 ~ 38 )
2002 vintage.
STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon est un processeur thermique rapide (RTP) utilisé par les industries semi-conductrices et électroniques pour le traitement efficace des appareils. En utilisant les capacités de traitement à chaud et à froid les plus modernes, AST 2800 Epsilon est en mesure de fournir un traitement thermique sophistiqué des structures et substrats des appareils. Il obtient des résultats de haute qualité tout en minimisant le temps et le coût. STEAG 2800 Epsilon est équipé de deux chambres de traitement thermique indépendantes, pouvant atteindre chacune des températures allant jusqu'à 1100 ° C Chaque chambre est également équipée des dernières capacités de chauffage, de refroidissement et de cyclage thermique du substrat. Cela permet d'atteindre une grande variété de profils thermiques. 2800 La précision et la précision d'Epsilon sont assurées par des systèmes de contrôle de température avancés et des sondes de rétroaction. Des mesures de température sont prévues sur le haut, le bas et les côtés de la chambre pendant que le processus s'exécute, éliminant le potentiel de chauffage inégal. Divers types de navires peuvent être utilisés dans les chambres de procédés MATTSON 2800 Epsilon. Cela comprend le quartz, l'aluminium, la céramique et les récipients en verre. Les broches d'alignement à l'intérieur des chambres empêchent les navires de tourner pendant que le processus est en cours. Le fluide de procédé des deux chambres peut être filtré pour protéger les parois des récipients contre les impuretés. Cela se fait avec une variété de filtres, tels que les filtres métalliques, les filtres à film et les filtres à membrane, qui peuvent être installés in situ. Les systèmes de chauffage et de refroidissement STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon sont conçus pour offrir un traitement thermique rapide et uniforme. Avec l'aide de contrôleurs performants, les deux chambres peuvent contrôler leur température et leur timing de manière indépendante avec une extrême précision. Cette conception en même temps permet d'économiser du temps et de l'énergie, ce qui permet des traitements thermiques plus rapides et plus efficaces. AST 2800 Epsilon offre également la flexibilité de la surveillance et du fonctionnement à distance via les systèmes de contrôle numérique intégrés, qui offrent divers journaux de données système, alertes d'erreurs critiques, et d'autres fonctionnalités. Il offre également une interface utilisateur avancée pour faciliter l'utilisation. Dans l'ensemble, STEAG 2800 Epsilon est un RTP avancé, capable de fournir des traitements thermiques uniformes, rapides et précis d'une grande variété de substrats et de structures de dispositifs. Grâce à ses contrôleurs puissants, ses cycles thermiques rapides et son interface utilisateur facile, il offre une solution économe en énergie et rentable pour le traitement des appareils.
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