Occasion STEAG / MATTSON / AST 2800 #293621529 à vendre en France

AST/STEAG/MATTSON/AST 2800 est un processeur thermique rapide à haut débit qui utilise une technologie de traitement thermique avancé et de refroidissement avancé pour le contrôle et le traitement précis des matériaux microélectroniques avancés. Cette technologie offre des taux de rampe thermique rapides, un contrôle précis de la température et des performances d'uniformité serrées avec des temps de refroidissement rapides. L'AST 2800 est conçu pour une large gamme d'applications à haute température telles que le dépôt et la gravure d'oxyde, la diffusion, le recuit, la photolithographie et les essais. Cet équipement utilise un système unique de positionnement de plaquettes contrôlé en X-Y qui permet des processus thermiques précis sans mouvement externe pendant le cycle du processus. STEAG AST2800 dispose également de quatre zones thermiques avancées et de quatre bouteilles verticales d'injection de gaz pour une livraison précise du gaz pendant les processus. STEAG 2800 utilise une unité de microprocessage et d'instrumentation avancée pour fournir des performances fiables et reproductibles. La machine à microprocesseur fournit une haute vitesse et un contrôle thermique précis avec une température avancée, une rampe et une programmation de cycle. L'instrument permet de surveiller et de contrôler avec précision la température, l'uniformité de température, la température SOI (surface d'intérêt) et la pression du gaz. MATTSON 2800 est conçu pour être utilisé dans un environnement de salle blanche de classe 10. Il est conçu pour assurer des performances précises et répétables dans des tolérances d'uniformité de température très serrées. L'actif est également capable de traiter une large gamme de tailles de substrat et est compatible avec une variété de systèmes de manutention de plaquettes. STEAG/MATTSON/AST AST2800 offre une variété de méthodes de régulation de la température, y compris le contrôle de l'algorithme de température. Cet algorithme est utilisé pour compenser les écarts de réponse thermique lors de processus thermiques variables dans le temps. Le modèle offre également une gamme de méthodes de régulation de la température, y compris le chauffage, le refroidissement et le contrôle intelligent de la température. 2800 est un processeur thermique avancé pour les matériaux microélectroniques avancés. Sa vitesse élevée et son contrôle précis de la température, ainsi que sa rampe thermique sur mesure et sa programmation de cycle en font un outil idéal pour une variété de processus à haute température.