Occasion STEAG / MATTSON / AST 2800 #9038290 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST 2800 est un processeur thermique rapide (RTP) conçu pour la recherche, le développement et la production de plaquettes. Il s'agit d'un outil multi-modes, capable de mettre en oeuvre plusieurs procédés thermiques tels que l'oxydation, le recuit, la diffusion et la pulvérisation. L'AST 2800 utilise deux chambres de procédés, l'une contenant une bobine d'induction et l'autre une source infrarouge, chacune contrôlée indépendamment. La principale caractéristique de STEAG AST2800 est sa haute température et ses capacités de traitement rapide. La bobine et les sources infrarouges sont capables d'élever la température de la plaquette ou du substrat jusqu'à 1000 ° C et 1500 ° C respectivement en utilisant un traitement thermique rapide. La température de traitement élevée permet des modifications rapides et précises du substrat telles que la silicisation et la transformation de phase. Le MATTSON 2800 est également équipé de systèmes de commande avancés. Il est conçu avec la technologie avancée de microprocesseur Vacuumschmelze, qui permet un contrôle précis de la température et du temps avec une intervention minimale de l'opérateur. Le système de contrôle avancé contribue également à maintenir l'uniformité des températures tout au long du processus et assure ainsi l'uniformité du produit final. De plus, STEAG/MATTSON/AST AST2800 est un système multifonctionnel capable d'exécuter plusieurs processus à la fois. Il a une double zone thermique rapide où deux processus peuvent avoir lieu simultanément. Cette fonctionnalité permet une utilisation efficace du temps et des ressources car le débit de traitement peut être considérablement augmenté en exécutant plusieurs processus en même temps. AST AST2800 est également livré avec une plateforme logicielle complète qui permet un fonctionnement facile. La plateforme logicielle fournit des données de contrôle de processus en temps réel, un suivi détaillé de l'historique des plaquettes, des recettes et des archives de processus. Cela garantit un traitement en douceur des plaquettes et un meilleur contrôle des paramètres de chaque processus. Dans l'ensemble, AST2800 est un processeur thermique rapide fiable et très avancé qui fournit une excellente précision, la répétabilité de la température, et le débit. Il est extrêmement utile pour une variété d'applications et de processus en raison de sa haute température, de son cycle rapide et de sa fonctionnalité complète de contrôle des processus.