Occasion STEAG / MATTSON / AST 2800 #9185557 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST 2800 est un processeur thermique rapide (RTP) conçu pour les procédés de recuit et de lithographie à haute température. L'équipement utilise une source hyperfréquence de grande puissance et un suscepteur de graphite spécialement conçu pour permettre un chauffage rapide et localisé des matériaux à couches minces. Le RTP fournit des profils de température uniformes dans la gamme de 50-600 ° C, avec un temps d'exposition thermique maximum de 2 ms. Il est également capable de profils de température répétables sur une large gamme de petits échantillons de taille allant jusqu'à 2mm. Le système utilise une chambre d'application spécialement conçue équipée d'une unité de confinement ergonomique. Cela fournit un environnement efficace et sûr pour un traitement rapide, et contribue à assurer un contrôle précis de la température sans nécessiter le déplacement de l'échantillon. Pour améliorer encore la précision, la machine utilise une série d'éléments précis de commande de mouvement et de mécanismes de rétroaction. Un outil d'imagerie CCD à caméra unique est disponible pour suivre la progression des échantillons pendant le traitement thermique. L'actif optique dispose d'un large champ de vision (jusqu'à 40 °) et d'une grande taille de pixel, permettant une imagerie haute résolution des propriétés thermiques en évolution rapide. De plus, un modèle à haute dynamique permet de cartographier la température de plusieurs régions. Le RTP est compatible avec une grande variété de matériaux et d'applications innovants en couches minces. Il convient à une utilisation avec du silicium polycristallin, du nitrure de silicium, du dioxyde de silicium et d'autres matériaux pour des procédés de recuit et de lithographie à haute température. En outre, il est bien adapté pour réaliser des expériences rapides de température transitoire, qui visent à mesurer le choc thermique de différents films minces et à déterminer rapidement les temps de recuit optimaux pour diverses techniques de traitement thermique. Enfin, le RTP a été développé pour offrir une excellente stabilité de l'équipement, avec un haut degré de précision de contrôle et de reproductibilité des résultats. Le système est également doté d'une faible consommation d'énergie et d'un faible bruit, ce qui le rend idéal pour les applications en laboratoire sensibles.