Occasion STEAG / MATTSON / AST 2800 #9205415 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST 2800 Rapid Thermal Processor est un outil utilisé pour le traitement à grande vitesse de films épais pour matériau semi-conducteur. Il permet le traitement thermique des films dans un environnement thermique efficace, donnant un taux de rampe rapide et éliminant les gradients thermiques. Le processeur a intégré la technologie de recirculation d'air qui assure des températures uniformes pendant le chauffage de surface. Les capteurs de température du processeur éliminent les effets des gradients thermiques et les rendent plus fiables. Les plages de températures élevées allant jusqu'à 900 ° C et 1350 ° C permettent le traitement thermique rapide des films épais. Il présente également une zone d'oxydation, de réduction et de nitridation à basse pression, permettant une fabrication et des applications ultérieures de matière lors du traitement. Le processeur dispose d'une source de refroidissement variable avec un contrôleur et une source de refroidissement supplémentaire pour le contrôle de la température. Il offre également une variété de systèmes de refroidissement à gaz forcé, y compris l'air et l'azote. L'utilisateur peut choisir la quantité de refroidissement en fonction de l'application. Une caractéristique supplémentaire de l'AST 2800 est son logiciel programmable multi-zones intégré. Ceci permet de traiter des épaisseurs de film différentes à des températures différentes avec chaque zone ayant son propre contrôleur. Un utilisateur peut également utiliser des programmes préinstallés pour des temps d'installation rapides et pour coordonner plusieurs recettes avec différents processus de température. Le processeur offre des supports de cassettes réglables pour assurer un traitement plat et uniforme. Il est également capable d'amorcer, de débonder et de donner des leçons frontales. L'interface Robot permet le transfert et le déchargement des plaquettes à facettes complètes. STEAG AST2800 est un outil précieux qui profite à une variété d'industries, telles que les semi-conducteurs composés et organiques. Il est utilisé pour le traitement thermique rapide de matériaux tels que diélectriques et métaux, permettant la fabrication et l'application de nouveaux matériaux semi-conducteurs. La facilité d'utilisation et la précision permettent une production et une efficacité accrues dans une variété d'industries.