Occasion STEAG / MATTSON / AST 2800 #9244813 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST 2800 est un processeur thermique rapide, conçu pour offrir une solution de traitement thermique entièrement automatisée pour les matériaux. Ce processeur fournit une homogénéisation thermique avancée, des capacités d'oxydation/réduction, et un cyclage thermique rapide pour une gamme de procédés semi-conducteurs. Ses systèmes de collecte et de communication de données à grande vitesse assurent la répétabilité des résultats et un meilleur contrôle du système. Ce processeur thermique rapide se compose d'un chauffe-wafer GaAs, d'un refroidisseur thermoélectrique, d'un contrôleur H-Bridge, d'un contrôle des applications et d'une surveillance des processus. Grâce à ces composants, le processeur est en mesure de fournir un conditionnement thermique avancé pour les plaquettes simples ou multiples dans les cycles de traitement et de recuit. Il offre une programmation précise de la température, avec des plages de -160 ° C à + 850 ° C De faibles gradients thermiques à travers la plaquette sont obtenus grâce à un contrôle de température de haute précision pendant tout le cycle de traitement. Le processeur peut accueillir jusqu'à neuf plaquettes ou substrats empilés en une seule fois, ou plusieurs séries à 12 vitesses et énergies différentes. En outre, les capteurs intégrés fournissent des données en temps réel pour la surveillance du processus thermique, permettant des contrôles plus stricts du processus. Ces données peuvent également être utilisées pour mettre à jour les paramètres du processus et créer des modèles prédictifs pour obtenir des résultats optimaux. Le système est équipé du logiciel AutoTune, qui permet d'optimiser non seulement les paramètres du processus de base, mais aussi le type de chauffe, la puissance du chauffage et la vitesse du chauffage. De plus, la fonction de chauffage sélectif des bords contribue à la passivation des bords de plaquettes chauffées et évite ainsi les problèmes d'intégrité diélectrique. Les capacités automatisées de contrôle et de surveillance du système AST 2800 le rendent idéal pour les applications de traitement thermique rapide dans la production photovoltaïque et LED. La conception tout-en-un simplifie la configuration, le fonctionnement et la vérification des processus, et garantit des résultats reproductibles et fiables. En outre, ce processeur peut être intégré aux lignes de production existantes, assurant une intégration complète de la détection et du contrôle de la température.