Occasion STEAG / MATTSON / AST 2800E #9103115 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST 2800E Rapid Thermal Processor (RTP) est une solution de traitement thermique à guichet unique pour développer et tester une variété de dispositifs emballés. Avec une large gamme de températures de processus (200-1000 ° C), des temps de cycle rapides (aussi bas que 3 secondes), et un contrôle de température robuste, cet équipement offre une fiabilité et des performances constantes. Le RTP est conçu pour une utilisation facile, avec deux zones de température indépendantes, un système de contrôle PLC, et un logiciel intuitif avec sélection automatique de recettes. L'unité est certifiée CSA et conforme aux normes SEMI E63 et E77. La conception modulaire de la machine la rend idéale pour une grande variété d'applications, y compris : RTP-LIN jusqu'à 1000 ° C ; Optimisation des processus et débogage ; HTOL Electro Thermal Stress Test (HTEST) ; OTA Studies ; test EMISS/CIS ; et les interconnexions Die-to-Die. L'écran LED avec interface utilisateur intuitive, la surveillance complète de tous les paramètres, et des capacités de programmation flexibles, fournissent aux utilisateurs des capacités de surveillance et de contrôle en temps réel. Le RTP est réglable sur une gamme d'options de configuration, telles que la taille des plaquettes, les différentes chambres de processus, et les systèmes automatisés de chargement/déchargement. Le mécanisme de pompe à vide intégré permet des températures de processus jusqu'à 1000 ° C Le RTP est construit avec une veste de convection brevetée « tout-en-un », dans laquelle le profil de température interne est très homogène par rapport aux conceptions traditionnelles et limitées des chambres. L'utilisation de cette cavité critique assure une variation de température inférieure à 0,25 ° C sur l'ensemble de la plaquette. Le RTP est également équipé d'un outil électrique avancé propre pour éviter toute contamination par les particules ioniques et l'eau. L'actif d'échappement dispose d'une ex-filtration automatique et d'une séparation condenseur A/C. Le RTP est équipé d'une protection « à sec seulement », ce qui évite l'utilisation du refroidissement liquide. Le RTP est également livré avec une gamme d'options de processus : RTP-HTOL, RTP-STOL, RTP-HTOLES, RTP-LINC, RTP-TABLE, RTP-HSO. Ces options permettent diverses combinaisons de procédés, comme la rampe à haute température, le recuit thermique rapide sous vide élevé jusqu'à 1000 ° C, l'électromigration, le HTOL, le traitement thermique rapide d'une seule plaquette jusqu'à 1000 ° C, le four à basse température pour le réchauffage et le refroidissement. Globalement, le processeur thermique rapide AST 2800E est une solution fiable pour une variété de besoins de traitement thermique. Il offre des performances à haute température avec des temps de cycle rapides, un contrôle de température fiable, des performances de haute qualité et une conception robuste pour des résultats reproductibles.