Occasion STEAG / MATTSON / AST 2900 #9224563 à vendre en France
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ID: 9224563
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Rapid Thermal Processor (RTP), 8"
Single chamber
Halogen bar lamp type
(38) Lamps:
(17) Top
(17) Bottom
(4) Side
Lamp life time: >2,000 Hours
(3) Cooling stations
Dummy station
RORZE Dual arm robot
Amplifier air vac cooling system
Temperature control: Ripple pyrometer
Lamp control
Z-Purge
Operating system: Windows NT
Maximum ramp up: 100°C/Sec
Maximum ramp down: ~70°C With N2
Temperature range: 550~1250°C
Temperature repeatability: ±2°C
Lamp power: 1500 Watt
1997 vintage.
STEAG/MATTSON/AST 2900 est un équipement de traitement thermique rapide (RTP) haut de gamme conçu pour optimiser le développement et les performances des procédés. Il dispose d'un processus en deux étapes de recuit thermique rapide (RTA) suivi d'une oxydation thermique rapide (RTO), offrant aux utilisateurs la flexibilité nécessaire pour contrôler rapidement les paramètres de traitement et optimiser les processus. Le système est bien adapté aux applications commerciales, prototypes et de recherche dans une gamme de procédés spécialisés liés à la microélectronique, l'emballage électronique et la fabrication de semi-conducteurs. L'AST 2900 offre aux utilisateurs une combinaison impressionnante de puissance et de vitesse de traitement, leur permettant d'ajuster rapidement les paramètres et de terminer efficacement les tâches de traitement. La chambre de température TPA de l'unité est conçue pour l'uniformité et la flexibilité de la température. Il a une vitesse de chauffage réglable allant jusqu'à 150 ° C/s et peut effectuer un recuit thermique rapide (RTA) ou une oxydation thermique rapide (RTO) à des températures allant jusqu'à 1000 ° C Son contraste d'uniformité de la chambre de température est ≤1.25°C et son uniformité de température (TU) est de 2,25 ° C ou mieux. La machine utilise une unité d'analyse de gaz en boucle fermée pour détecter et ajuster l'apport d'oxygène nécessaire à l'oxydation thermique rapide (RTO). Cet outil indépendant de contrôle du débit thermique et gazeux est idéal pour réduire les débits d'oxygène et d'azote, minimisant le dégazage aux niveaux de consommation désirés afin de déterminer avec précision les besoins en TOX et RTO. Les capacités de traitement thermique rapide de STEAG 2900 sont complétées par son choix programmable de paramètres de commande de processus et de four : contrôle de pression statique, contrôle de gaz haute pression, température, débit de gaz, contrôle d'ampère/puissance et contrôle de fréquence. Cette gamme d'options de contrôle permet à l'utilisateur d'ajuster les processus pour obtenir des résultats optimaux. L'actif dispose également de capacités avancées d'enregistrement et de graphisme de données, conçues pour surveiller les performances du modèle et détecter les anomalies de processus à un stade précoce. L'interface utilisateur graphique conviviale (UI) assure un suivi en temps réel du processus RTP, permettant des diagnostics rapides et efficaces. Dans l'ensemble, 2900 est un processeur thermique rapide efficace et fiable, parfaitement adapté pour le développement de prototypes avancés, la conception de processus, et les exigences de production commerciale. Il dispose d'une large gamme de paramètres avancés de contrôle des processus, uniformité de température, ajustement de l'apport d'oxygène, et des capacités d'enregistrement des données, permettant aux utilisateurs d'optimiser efficacement les processus pour des résultats optimaux.
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