Occasion STEAG / MATTSON / AST 3000 Plus #293821686 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST 3000 Plus est un équipement de traitement thermique rapide de pointe conçu pour des applications à haute température dans la fabrication de semi-conducteurs. Avec des fonctionnalités avancées et des capacités de contrôle précises, cet outil est bien adapté à la production de circuits intégrés de nouvelle génération et d'autres dispositifs semi-conducteurs qui nécessitent des conditions de traitement thermique rigoureuses. Au cœur de l'AST 3000 Plus se trouve sa technologie de chauffage innovante, qui permet une montée en température et un refroidissement rapides et uniformes. Cela est obtenu grâce à une combinaison d'éléments chauffants radiants et convectifs, ainsi qu'à des systèmes de gestion thermique sophistiqués qui assurent un contrôle précis de la température sur la surface de la plaquette. Une des caractéristiques clés de STEAG 3000 Plus est sa flexibilité dans la prise en charge de divers gaz de process et conditions ambiantes. Le système est équipé d'une unité complète de distribution de gaz qui supporte un large éventail de gaz de procédé, y compris les gaz inertes, les précurseurs dopants et les gaz réactifs pour les processus de modification de surface et de croissance d'oxyde. De plus, l'outil peut fonctionner sous atmosphère contrôlée et sous vide pour répondre aux exigences de diverses applications de traitement des semi-conducteurs. 3000 Plus est équipé d'une machine de contrôle de pointe qui offre des capacités avancées de surveillance des processus et de gestion des recettes. L'outil peut être contrôlé par une interface utilisateur intuitive qui permet de surveiller en temps réel les paramètres critiques du processus tels que la température, la pression, les débits de gaz et les taux de rampe. Les recettes de processus peuvent être facilement programmées et modifiées pour répondre à différentes exigences de processus, permettant aux utilisateurs d'obtenir un contrôle précis sur les conditions de traitement thermique. En outre, MATTSON 3000 Plus intègre des caractéristiques de sécurité avancées pour assurer l'intégrité des plaquettes semi-conductrices et du personnel exploitant l'actif. L'outil est équipé de plusieurs systèmes d'interception qui empêchent l'accès non autorisé et atténuent les risques associés à la surpression, aux surtensions et aux fuites de gaz. En outre, le modèle est conçu pour se conformer aux normes de l'industrie en matière de sécurité et de protection de l'environnement, ce qui en fait un outil fiable et conforme pour les installations de fabrication de semi-conducteurs. En termes de performance, STEAG/MATTSON/AST 3000 Plus offre des capacités de pointe pour les applications de traitement thermique rapide. L'équipement peut atteindre des taux élevés de chauffage et de refroidissement, avec des niveaux d'uniformité de température qui répondent aux exigences strictes des procédés semi-conducteurs avancés. Ceci permet aux utilisateurs d'obtenir un contrôle précis des processus thermiques critiques tels que le recuit, l'oxydation, la diffusion et d'autres techniques de modification de surface, conduisant à des performances et un rendement accrus du dispositif. Dans l'ensemble, AST 3000 Plus représente une solution de traitement thermique rapide de pointe pour des applications de fabrication de semi-conducteurs. Grâce à sa technologie de chauffage avancée, à son système flexible de distribution de gaz, à ses capacités complètes de contrôle des processus, à ses caractéristiques de sécurité et à ses hautes performances, cet outil est bien adapté à la production de dispositifs semi-conducteurs de pointe qui exigent des conditions de traitement thermique précises.