Occasion STEAG / MATTSON / AST 3000 plus #9281776 à vendre en France
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STEAG/MATTSON/AST 3000 plus est un processeur thermique rapide (RTP) qui utilise une combinaison de températures allant de la température ambiante jusqu'à 1500˚C. Cette technologie est utilisée dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs car elle est capable de traitement thermique à des températures et des échelles de temps prédéterminées. Ce RTP adopte une approche modulaire et se compose de trois composants qui comprennent le contrôle de procédé avancé, la chambre thermique robuste, et le système de convection efficace. Le contrôle de processus avancé permet de programmer des programmes de température précis pour obtenir les résultats souhaités. Il fournit des mesures de température précises dans des temps courts de traitement de l'échantillon, minimise les contraintes résiduelles dans un échantillon, et permet des résultats reproductibles en raison de sa haute précision thermique. La chambre thermique robuste se compose d'une grande zone de chauffage haute performance, une paroi mobile assure un traitement thermique uniforme, et ses parties interconnectées permettent de programmer des capacités de contrôle de processus sur de larges plages de température. Enfin, le système de convection efficace permet des processus thermiques rapides à haute température sans introduire d'artefacts de mouvement. AST 3000 plus permet un traitement à haut débit extrêmement précis et cohérent. La plage de température d'adaptation de l'appareil permet de l'utiliser pour diverses applications telles que le dépôt/gravure de plaquettes, la fabrication d'appareils et les processus ALD/CVD. Le traitement à haut débit et le système thermique amélioré font de ce RTP le choix parfait pour toute organisation ayant besoin d'un traitement thermique précis et reproductible. De plus, ce dispositif est capable de maintenir des températures élevées pendant de longues périodes sans compromettre la sécurité de l'opérateur.
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