Occasion STEAG / MATTSON / AST 3000 #293615440 à vendre en France
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ID: 293615440
Rapid Thermal Processor (RTP), 8"-12"
(2) FOUPs
(3) Cassettes, 8"
(2) Combined and integrated SMIF, 8"-12"
(3) Side panels
(3) Upper quartz plates
(2) Linear plates
(8) Gas distributors
(4) Air bearings
(2) Roter, 12"
Ring carrier, 8"
Rotor plate, 8"
Rotor, 8"
Ring deflection frame
Chamber
U, Q, P Static with ring tilt
Blower: 0.93 m²
Pyro chiller
SIEMENS DC Power supply, 24 V
Process module
Power control module: 1.04 m²
Computer electronics
Footprint, 4.19 m²
Rack
Da-Karte
HDD
CPU
MUX-DAC-DSP
PyRi-PCC
Netzteil 2x15V
Netzteil 5V
Netzteil ±12V/5V
Netzteilter
C64-Busplatine
ISA 36 Bus 3 Slot
Wafer handler module:
I/O Controller
Distribution box
Gas cabinet:
Pressure: 6 Bars
Purity N2: >99.9999%
Purity O2: >99.9999%
Gas / Flow rate:
O2 / Ar / 50 SLM
NH3 / 30 SLM
H2 / -
O2 / 5 SLM
O2 / 60 SLM
N2O / 30 SLM
N2 / 100 SLM
Missing parts:
Robot
Aligner
Pyrometer
Control
Oxygen sensor
PCU Parts
PWM / POD boards.
STEAG/MATTSON/AST 3000 est un processeur thermique rapide qui offre le plus haut niveau de performance pour un processus de gestion thermique précis et précis. Ce processeur est conçu pour un traitement thermique haute précision et haute vitesse pour répondre aux besoins d'une variété d'applications. Il a une large gamme de caractéristiques, y compris plusieurs zones de température, haute résolution de surveillance du flux de chaleur, et contrôle précis de la température. Le processeur peut être commandé en mode manuel et automatique pour convenir à n'importe quelle application. Les zones de température peuvent être programmées en fonction des besoins de l'application avec un contrôle précis de la température, assurant le maintien de la température correcte tout au long du processus thermique. Le processeur dispose également d'un système de surveillance du flux thermique à haute résolution, permettant un contrôle précis du flux thermique à l'intérieur du système. Le processeur a également une conception robuste, lui permettant de travailler dans des environnements difficiles. Il peut fonctionner avec une variété de matériaux, y compris les métaux et les plastiques, fournissant un traitement thermique précis dans ces matériaux. Le processeur dispose également d'un système de transfert de chaleur optimisé et d'une grande capacité de refroidissement, assurant que le matériau est traité à la température appropriée. AST 3000 fournit un niveau élevé de précision et de précision dans une variété de processus thermiques. Le processeur est également rentable, fournissant une solution idéale pour un large éventail d'applications. Le processeur peut être utilisé pour divers procédés, y compris le traitement thermique des métaux, des plastiques et des dispositifs semi-conducteurs. Le processeur est également idéal pour le traitement de matériaux dans la fabrication de produits, assurant que les niveaux de précision les plus élevés sont maintenus. STEAG 3000 est un excellent choix pour une gamme d'applications nécessitant un traitement thermique précis et précis. Le processeur est conçu pour fournir un processus de gestion thermique précis et précis, permettant le plus haut niveau de performance dans diverses applications. Le processeur est également rentable, fournissant une solution idéale pour un large éventail d'applications.
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