Occasion STEAG / MATTSON / AST 3000 #293814736 à vendre en France
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STEAG/MATTSON/AST 3000 est un processeur thermique rapide conçu spécifiquement pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs au niveau de la production. Il est conçu pour réduire au maximum le temps de cycle tout en préservant la qualité des dispositifs traités. L'AST 3000 utilise une chambre de pré-conditionnement qui est conçue pour chauffer et refroidir rapidement et précisément la quantité requise de matériau de substrat afin de répondre aux exigences de débit élevé sans compromettre les performances. La machine est capable de chauffer le substrat à des températures allant jusqu'à 1250C afin de stimuler correctement les réactions nécessaires à la création du dispositif. STEAG 3000 utilise un environnement à haute température pour minimiser les dommages causés par les temps de cycle longs. Pour ce faire, on utilise un programme thermique multi-segments pour affiner continuellement le profil thermique à la température exacte requise pour le procédé. Le régulateur de température évite également le dépôt ou l'oxydation du substrat par surcharge thermique. 3000 utilise une double source d'énergie RF avec commutation rapide entre les deux fréquences pour une uniformité thermique maximale. MATTSON 3000 dispose également d'un système intégré de surveillance des processus qui vérifie continuellement l'état de chaque substrat pour assurer le débit le plus élevé possible. Ceci comprend un contrôle continu de la température du substrat, du débit de gaz et de la pression pendant tout le processus. Des outils de métrologie de haute précision sont également inclus dans ce système pour s'assurer que les résultats souhaités du processus sont atteints. STEAG/MATTSON/AST 3000 est livré avec une sélection d'options programmables par l'utilisateur qui permettent de transférer facilement des recettes de processus entre différentes machines. Cela rend plusieurs recettes de processus possibles et contribue à assurer la répétabilité des processus sur plusieurs machines. En outre, l'AST 3000 peut être équipé d'une variété d'options d'isolation des bords, y compris l'isolement avec l'azote, l'hélium et le chlore, qui sont conçus pour assurer des rendements de production élevés. Dans l'ensemble, STEAG 3000 est un processeur thermique rapide puissant, fiable et efficace qui est parfait pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs au niveau de la production. Il offre une interface utilisateur facile à utiliser ainsi que des recettes de processus personnalisables pour des performances et des sorties de pointe. Ses nombreuses fonctionnalités, y compris la régulation de la température et la surveillance des processus, en font un excellent choix pour les fabricants de semi-conducteurs occupés.
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