Occasion STEAG / MATTSON / AST 3000 #9095994 à vendre en France
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ID: 9095994
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
Rapid Thermal Processing (RTP) System, 12"
2004 vintage.
STEAG/MATTSON/AST 3000 est un processeur thermique rapide avancé conçu pour fournir des résultats de traitement fiables en temps de cycle court. Il présente une haute température, une puissance de chauffage élevée et est capable de chauffer trois porte-plaquettes de 150 mm en moins de dix secondes à des températures aussi élevées que 1100 ° C L'utilisation d'une grande surface de wafer se traduit par un effet de chauffage extrêmement homogène, tandis que l'utilisation de la nouvelle technologie de « rafraîchissement » rapide assure un retournement rapide d'un processus à l'autre. Ce processeur thermique rapide de pointe utilise trois zones ; système de chambre haute température, moyenne température et basse température, qui est conçu pour fournir des températures et des températures égales longévité, améliorant encore la fiabilité et la précision des fonctions de chauffage. Sa faible dérive et ses faibles gradients thermiques garantissent que les pièces sont chauffées avec précision et exactement à la température désirée. En plus de fournir une haute température et un traitement de haute puissance, AST 3000 fournit également des capacités de surveillance de processus, assurant que la température et les temps de processus sont contrôlés à des niveaux très précis. Il dispose également d'un moniteur temps-température précis, permettant aux utilisateurs de prendre en compte les données temps-température associées à chaque processus. En outre, le dispositif offre la possibilité de programmer jusqu'à 999 scripts qui peuvent être stockés pour être utilisés lors de processus pré-programmés. La conception robuste de STEAG 3000 lui garantit une grande fiabilité avec de faibles exigences d'entretien. Sa chambre de traitement en acier inoxydable est résistante à la corrosion et à l'abrasion, et le dispositif ne nécessite pas de rinçage ou de recirculation d'eau. En outre, l'écran tactile LCD convivial permet une surveillance claire de l'état et des paramètres du processeur thermique rapide, et fournit une gamme de fonctions pour la saisie, la manipulation et le stockage rapides et faciles. En outre, MATTSON 3000 est équipé de caractéristiques liées à la sécurité telles que les fermetures de porte, le verrouillage du porte-plaquettes, les fermetures à température excessive, les avertissements de surpression et autres. Cela garantit aux opérateurs que l'équipement restera stable et fiable lorsqu'ils effectueront des opérations critiques. Au total, 3000 est un processeur thermique rapide avancé conçu pour répondre aux besoins exigeants de la production industrielle moderne. Il combine des températures élevées, des capacités de chauffage élevées avec des capacités de surveillance des processus, des écrans tactiles LCD conviviaux et des fonctions de haute fiabilité et de sécurité, ce qui en fait un appareil attrayant pour tout environnement de production.
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