Occasion STEAG / MATTSON / AST 3000 #9095995 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST 3000 est un appareil de traitement thermique rapide (RTP) pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Ce système polyvalent est conçu pour fournir un contrôle de température très uniforme et des procédés thermiques précisément conçus pour une implantation ionique réussie et une large gamme d'autres applications semi-conductrices et optoélectroniques. L'unité est idéale pour l'utilisation dans le développement de procédés de base pour la production et garantit un environnement de température précis pour le recuit thermique rapide (RTA) ainsi que le recuit au four de matériaux en silicium fortement dopé. La machine offre une capacité de chauffage et de refroidissement à haute vitesse sur une large gamme de températures. L'utilisation d'un suscepteur rotatif assure une répartition uniforme de la chaleur au sein d'un échantillon. Il est capable de maintenir des températures jusqu'à 1150 ° C L'uniformité de température est maintenue à +/- 2 ° C et est mesurée sur les surfaces supérieure, médiane et inférieure d'une plaquette. L'outil comporte également une surveillance et un contrôle en temps réel pour garantir des temps de réponse rapides. Dans l'ensemble, l'AST 3000 offre une capacité de traitement thermique complète pour les processus de production et de développement. Il dispose d'une construction de chambre robuste conçue pour assurer la facilité d'entretien, ainsi que d'une électronique fiable pour un contrôle précis de la température. Sa compatibilité avec divers environnements et recettes de processus rend l'actif attrayant pour les laboratoires de recherche et les centres de traitement. Le modèle se distingue également par ses algorithmes logiciels brevetés qui offrent une compensation de température avancée et maintiennent uniformité et précision sur l'ensemble de la plaquette. STEAG 3000 est livré avec une garantie limitée de 3 ans et comprend une interface informatique à distance et une interface utilisateur graphique (interface graphique). Cela permet une intégration complète avec les systèmes d'automatisation en usine et la possibilité d'accéder à l'équipement localement et à distance. Le RTP est également équipé de dispositifs de diagnostic et de gestion des défaillances, ce qui facilite la détection, le diagnostic et la mise en œuvre de mesures correctives au besoin. Au total, MATTSON 3000 est un processeur thermique rapide avancé pour une large gamme d'applications semi-conductrices et optoélectroniques. Sa conception robuste, son contrôle précis de la température, sa surveillance et son contrôle en temps réel et sa compatibilité avec divers environnements en font une option attrayante pour les processus de production et de développement.