Occasion STEAG / MATTSON / AST 3000 #9224637 à vendre en France
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ID: 9224637
Taille de la plaquette: 8"-12"
Rapid Thermal Processors (RTP), 8"-12"
2 Ports
Chamber
Gases: NH3, N2, O2.
STEAG/MATTSON/AST 3000 est un processeur thermique rapide (RTP) utilisé pour le traitement de plaquettes semi-conductrices avec une répétabilité et une précision élevées. Ce système avancé est conçu pour fabriquer des circuits intégrés (IC) de haute qualité et fiables et est bien adapté pour traiter même les appareils les plus haut de gamme. Ce RTP se compose de plusieurs composants majeurs dont la chambre de chauffage, le régulateur de température, le poste de chargement et de déchargement, l'enceinte de protection, le robot de transfert de plaquettes et le mandrin de plaquettes. La chambre de chauffage primaire de l'AST 3000 est construite en acier inoxydable pour une stabilité thermique supérieure et une répartition uniforme de la température. Sa plage de température est de -70 ° C à 1000 ° C avec un taux de chauffage et de refroidissement allant jusqu'à 200 ° C/seconde. Le RTP est enfermé dans sa propre armoire de protection pour assurer la sécurité du personnel d'exploitation et d'entretien. Le régulateur de température est programmé pour régler avec précision le profil de température de la chambre et exécuter plusieurs températures de rampe en une seule course. Le processeur est facile à utiliser et intuitif, avec un écran LED et un clavier QWERTY complet pour les commandes d'entrée. Le contrôleur est également équipé de capteurs de flux de gaz de refroidissement et de traitement pour des performances précises et fiables. En plus des éléments de chauffage et de refroidissement, STEAG 3000 dispose également d'un bras robotique pour le chargement et le déchargement des plaquettes. Ce bras est programmé pour déplacer les plaquettes du plateau de stockage vers le mandrin de plaquette, et vice versa. Le mandrin de plaquette est spécialement conçu pour assurer une manutention sécurisée des plaquettes, en fournissant un support et un alignement pendant le processus thermique rapide. Pour une protection supplémentaire, les plaquettes sont en outre fixées avec un couvercle ventilé qui fonctionne également comme une barrière à l'humidité et aux particules. MATTSON 3000 est un système RTP avancé conçu pour une efficacité et une fiabilité maximales. Sa construction robuste assure un chauffage, un refroidissement et une manutention uniformes des plaquettes, ce qui en fait un choix idéal pour ceux qui recherchent une fabrication IC de haute qualité.
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