Occasion STEAG / MATTSON / AST 3000 #9262640 à vendre en France
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ID: 9262640
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2002
Rapid Thermal Processor (RTP), 8"
(2) ASYST SMIF
RORZE Dual arm robot
Gases: O2, NH3, N2
2002 vintage.
STEAG/MATTSON/AST 3000 est un processeur thermique rapide (RTP) conçu pour des applications hautes performances. C'est un système de traitement thermique avancé qui utilise une combinaison de lampes infrarouges et de gaz chauds pour élever et abaisser rapidement la température des substrats ou d'autres matériaux. Avec l'AST 3000, les utilisateurs peuvent atteindre une large gamme de températures en une fraction du temps demandé par les méthodes traditionnelles. STEAG 3000 a été conçu avec une configuration unique de deux chambres : une chambre Cold Zone et une chambre Hot Zone. La chambre de la zone froide, située dans la moitié supérieure du dispositif, est une zone active pour le chauffage et le refroidissement. La chambre est équipée de lampes IR pour le chauffage direct, d'un système de flux de gaz, qui peut être programmé pour divers mélanges de gaz, et de stockage cryogénique pour le refroidissement cryogénique. La chambre Hot Zone, située dans la moitié inférieure du dispositif, est destinée au recuit et au traitement thermique des substrats. La chambre Hot Zone abrite un rideau de protection contre le rayonnement et des éléments chauffants ainsi qu'un réseau de fenêtres optiques résistantes à la chaleur. Le logiciel 3000 comprend des contrôles graphiques conviviaux qui permettent une visualisation claire des processus thermiques. Le logiciel permet une programmation efficace et répétable des profils de température et des paramètres de contrôle. MATTSON 3000 est également équipé d'un système de surveillance de la température en temps réel qui permet une caractérisation et une optimisation complètes des paramètres du processus. STEAG/MATTSON/AST 3000 est un outil fiable pour le traitement thermique rapide. Il est capable de traiter des matériaux dans une fraction du temps demandé par les méthodes traditionnelles et il est conçu pour permettre un contrôle précis et répétable des vitesses de chauffage et de refroidissement. Cet outil avancé fournit un moyen rapide et fiable de traiter les plaquettes et autres substrats avec des variations de température extrêmes.
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