Occasion STEAG / MATTSON / AST AST 3000 #9103112 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST 3000 est un processeur thermique rapide (RTP) conçu pour le traitement thermique à grande échelle des semi-conducteurs. Le RTP est un équipement évolutif et économique avec un contrôle de température haute vitesse et haute précision. L'unité fournit aux techniciens une variété de conditions de processus et peut accueillir jusqu'à trois substrats. Le RTP utilise des éléments chauffants efficaces et des régulateurs de température numériques pour obtenir des températures uniformes tout au long du processus. Les capacités intégrées de cohérence des unités du système garantissent la répétabilité et la fiabilité des processus. La chambre de procédé est conçue pour réduire la contamination et permet des conditions de traitement contrôlées, telles que la pression et les niveaux d'oxygène. Le RTP est équipé d'une machine de surveillance robuste qui suit les paramètres de traitement tels que la température, la pression et les niveaux d'oxygène. Les moyens de contrôle avancés de l'outil permettent aux opérateurs de contrôler les processus avec précision, depuis le réglage de la température de la chambre jusqu'au réglage de la vitesse de chauffage et de refroidissement. Le modèle de contrôle est également automatisé et interactif, ce qui permet à l'opérateur de régler et d'ajuster tous les paramètres de traitement du panneau de contrôle en temps réel. Le RTP utilise une interface graphique conviviale qui permet aux opérateurs de suivre facilement les progrès et de traiter les paramètres. En outre, l'équipement fournit une gamme de recettes, permettant aux opérateurs d'ajuster rapidement les paramètres et les paramètres selon les besoins pour l'application particulière. Le système de contrôle détaillé et la programmabilité du RTP en font un outil fiable et puissant pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. En facilitant une production simplifiée et répétable, le RTP contribue à augmenter le rendement, à réduire les erreurs et à améliorer l'efficacité. L'unité est très évolutive et permet des transferts de processus, offrant une flexibilité pour plusieurs substrats et tailles de plaquettes.