Occasion STEAG / MATTSON / AST Atoms #9229578 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST Atoms est un processeur thermique rapide (RTP) utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour des procédés tels que le dépôt de couches minces, l'oxydation, le recuit et le dépôt de pulvérisateurs métalliques. L'équipement utilise une gamme de technologies spécialisées de contrôle de la température pour atteindre rapidement les températures souhaitées avec une excellente uniformité. Le système est équipé d'un four à tube vertical en quartz (QVTF) et de capacités d'écoulement de gaz vers le haut ou vers le bas, qui contribuent à assurer un contrôle uniforme et précis de la température dans toute la région d'intérêt. Le QVTF est un tube en quartz vertical et sa conception unique facilite le chauffage et le traitement efficaces de la plaquette ou d'un autre substrat. Le four à tube vertical est monté sur une plate-forme d'énergie de faible masse thermique offrant une excellente uniformité de température et des vitesses de changement de température rapides. Un module de convection forcée à l'air (AFC) est également inclus dans l'unité. Le module AFC combine débit d'air et débit de gaz limité pour assurer le chauffage souhaité du substrat. Ceci améliore l'uniformité de température au sein du procédé par rapport aux systèmes traditionnels car des courants d'air turbulents sont créés autour du substrat pendant le traitement. Le contrôle et la surveillance de la température dans la machine se fait par une série de composants avancés comprenant un amplificateur de forte puissance, un microprocesseur, un thermocouple, un capteur de température, et un logiciel avancé. Ces composants offrent une excellente précision lors du contrôle de la température. AST Atoms offre une variété de profils de température incluant un traitement par zone unique, jusqu'à huit zones contrôlées et jusqu'à 200 configurations. La possibilité d'exécuter différents programmes de traitement simultanément sur une plate-forme rend cet outil idéal pour de multiples besoins de traitement. En outre, l'actif fournit une excellente uniformité thermique, et le contrôle de température de précision de STEAG Atoms en fait l'un des systèmes RTP les plus performants disponibles.