Occasion STEAG / MATTSON / AST CS 100 #293729355 à vendre en France

ID: 293729355
Rapid Thermal Annealing (RTA) system No vacuum system Material used: Gas Gas configuration: N2.
STEAG/MATTSON/AST CS 100 est un processeur thermique rapide de pointe couramment utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour les technologies de traitement avancées. Cet outil innovant est conçu pour fournir un traitement thermique précis aux plaquettes semi-conductrices, permettant des processus critiques tels que le recuit, l'oxydation et la diffusion avec une grande efficacité et précision. L'AST CS 100 fait partie de la série de systèmes de traitement thermique rapide AST de pointe développés par STEAG, un fournisseur renommé d'équipements pour la fabrication de semi-conducteurs. Au cœur du processeur thermique rapide STEAG CS 100 se trouve sa technologie de chauffage avancée, qui permet un chauffage rapide et uniforme des plaquettes semi-conductrices jusqu'à des températures élevées. L'équipement est équipé de mécanismes de régulation de température avancés, comprenant plusieurs zones de chauffage et des capteurs thermiques précis, pour assurer un contrôle de température serré et l'uniformité sur la surface de la plaquette. Ce niveau de contrôle est essentiel pour obtenir les résultats souhaités et maintenir la qualité et la fiabilité des dispositifs semi-conducteurs fabriqués. MATTSON CS 100 dispose d'un système de distribution de gaz sophistiqué qui permet un contrôle précis de l'atmosphère du procédé pendant le traitement thermique. Ceci permet l'introduction de gaz tels que l'oxygène, l'azote et les gaz de procédé dans la chambre de traitement, facilitant des processus thermiques spécifiques tels que l'oxydation, la nitridation et le recuit. L'unité est également équipée d'une machine à vide robuste pour créer un environnement propre et contrôlé propice au traitement à haute température des plaquettes semi-conductrices. Un des principaux avantages du processeur thermique rapide CS 100 est sa flexibilité et son évolutivité, ce qui permet aux fabricants de semi-conducteurs d'adapter l'outil à un large éventail d'exigences de processus. L'actif est capable de manipuler différentes tailles de plaquettes, y compris des plaquettes standard de 150 mm et 200 mm, ainsi que des substrats personnalisés. En outre, STEAG/MATTSON/AST CS 100 peut accueillir différentes recettes de processus et profils thermiques, ce qui le rend adapté à une gamme variée d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Le processeur thermique rapide AST CS 100 est conçu avec un modèle convivial d'interface et de contrôle logiciel, permettant aux opérateurs de programmer et de surveiller facilement les paramètres de traitement thermique. L'équipement offre des fonctionnalités avancées de contrôle des processus, y compris la surveillance de la température en temps réel, le ramassage thermique et l'enregistrement des données, permettant une optimisation précise des processus et le dépannage. L'interface logicielle intuitive fournit également des outils de visualisation pour analyser les données de processus et optimiser les recettes de processus pour améliorer la productivité et le rendement. En conclusion, le processeur thermique rapide STEAG CS 100 est un outil de pointe qui offre aux fabricants de semi-conducteurs une précision, une flexibilité et un contrôle inégalés dans les applications de traitement thermique. Avec sa technologie de chauffage avancée, son contrôle précis de la température, son système de distribution de gaz et son interface conviviale, MATTSON CS 100 est une solution fiable et polyvalente pour les étapes critiques de la fabrication de semi-conducteurs. En tirant parti des capacités du processeur thermique rapide CS 100, les fabricants de semi-conducteurs peuvent obtenir des performances de processus, un rendement et une qualité d'appareil supérieurs dans leurs opérations de production.
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