Occasion STEAG / MATTSON / AST Helios #293593150 à vendre en France
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ID: 293593150
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
Rapid Thermal Processor (RTP), 12"
Missing parts
Chamber:
PM1: MMC
PM2: MMC
PM1: Ring tit mechanism lift unit
PM2: Ring tit mechanism lift unit
2008 vintage.
STEAG/MATTSON/AST Helios est un processeur thermique rapide (RTP) utilisé pour des applications telles que la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, de couches minces et de nanotechnologies. Cet équipement utilise une atmosphère d'azote ou d'oxygène sec pour chauffer rapidement des échantillons à haute température. Le système offre un contrôle avancé des processus avec des capteurs dans toute la chambre qui surveillent les paramètres critiques tels que la température, la pression et le débit de gaz. L'AST Helios dispose d'une plate-forme ouverte avec un plateau d'asservissement monobloc de 4 pouces, qui permet un transfert de chaleur uniforme dans toute la chambre. STEAG Helios peut atteindre des temps de cycle thermique aussi bas que dix secondes, permettant un traitement rapide et précis de plusieurs échantillons simultanément. Il utilise des revêtements intérieurs et extérieurs blindés pour prévenir la contamination et le gazage des matériaux. Le Helmios utilise également une chambre à quartz préchauffée et non réactive pour améliorer l'uniformité thermique et l'adhérence de surface. Cette unité offre un contrôle précis de la température ambiante à 1050 ° C (1922 ° F) avec une précision allant jusqu'à ± 1 ° C (± 1,8 ° F). L'utilisateur peut programmer jusqu'à 40 recettes thermiques et accéder jusqu'à cinq opérations en mode temps réel avec des points de réglage et des temps de maintien. La machine dispose également d'une interface contrôleur universelle conçue pour supporter la plupart des plates-formes logicielles de l'industrie des semi-conducteurs et dispose d'un écran de 14 pouces avec une interface utilisateur graphique qui est intuitive et facile à utiliser. Helios est conçu avec des systèmes intégrés de suivi des processus et des cotes de vide jusqu'à 4.5 Torr. Il a également un taux de montée en pression exceptionnellement faible de 0,02 Torr/min, permettant un développement plus précis de la recette. MATTSON Helios offre également des fonctionnalités de sécurité avancées telles qu'un interrupteur de coupure qui arrête l'ensemble de l'outil en cas d'urgence. STEAG/MATTSON/AST Helios est un excellent choix pour les applications de traitement de semi-conducteurs grâce à ses caractéristiques, sa flexibilité et ses capacités de chauffage rapide. Il est capable de manipuler des processus complexes, offre un contrôle précis de la température et de la pression et est approuvé par les principaux centres de recherche sur la technologie des semi-conducteurs à travers le monde.
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