Occasion STEAG / MATTSON / AST Helios #293593160 à vendre en France
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ID: 293593160
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
Rapid Thermal Processor (RTP), 12"
Missing parts:
Chamber:
PM1: (10) Board IGBTCB 40A Fuses
PM2: Door mechanics
PM1: MMC
PM2: MMC
PM1: 02 Sensor
PM2: 02 Sensor
PM1: Rotation controller
PM2: Rotation controller
FI: Robot controller, CURR: RR717
PM1: Pyro chiller
PM1: Ring tilt mechanism lift unit
PM2: Ring tilt mechanism lift unit
FI: RD Cable
FI: Sequencer
2008 vintage.
STEAG/MATTSON/AST Helios est un processeur thermique rapide idéal pour les procédés de fabrication tels que la soudure, le collage de la matrice et le durcissement époxy. Le système est capable d'appliquer des réglages de puissance et de température en quelques secondes lui donnant une excellente vitesse, précision et flexibilité pour les processus d'assemblage critiques. AST Helios est un processeur de lithographie monobloc avec un bras robotique qui déplace le substrat à traiter dans et hors de la chambre. La chambre est remplie de gaz inerte, tel que l'azote, pour maintenir un environnement à faible teneur en oxygène. De plus, une série de capteurs embarqués surveillent de près la température et la pression ambiantes et permettent des réglages précis. Pour commencer le traitement, la plaquette est placée à l'intérieur de la chambre et le bras robotique est alors déplacé vers la position souhaitée. Les réglages de température et de pression surveillés sont réglés et des chauffages résistifs de précision sont ensuite activés. Ce procédé permet un chauffage uniforme sur tout le substrat et donne des résultats reproductibles. STEAG Helios processeur est idéal pour une large gamme de processus qui nécessitent un traitement thermique rapide. Par exemple, lors de la soudure, le substrat est typiquement exposé à des températures allant jusqu'à 350 ° C pendant plusieurs secondes. Ceci peut être réalisé avec le processeur Helios en refroidissant et chauffant rapidement le substrat, en réalisant un processus de soudure rapide, précis et répétable. Le système peut également être utilisé pour des applications de durcissement telles que le collage et l'encapsulation. Une série d'émetteurs infrarouges peut être utilisée pour chauffer rapidement et guérir une couche d'époxy, tout en maintenant une température uniforme sur tout le substrat. Dans l'ensemble, MATTSON Helios est un excellent processeur thermique de précision. Il est bien adapté pour les procédés d'assemblage critiques tels que la soudure, le collage de filière et le durcissement époxy, ainsi que pour d'autres procédés de courte durée comme le recuit thermique rapide. Les capteurs embarqués, la capacité thermique rapide et les chauffages de précision assurent un chauffage et un contrôle de température uniformes dans tout le substrat et assurent des résultats reproductibles, précis et fiables, ce qui donne aux fabricants la tranquillité d'esprit en ce qui concerne la production à haut volume et de haute précision.
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