Occasion STEAG / MATTSON / AST Helios #293624124 à vendre en France
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ID: 293624124
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
Rapid Thermal Processors (RTP), 12"
2004 vintage.
STEAG/MATTSON/AST Helios est un processeur thermique rapide (RTP) utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Le dispositif est utilisé pour chauffer rapidement et uniformément des composants semi-conducteurs, tels que des transistors et des cartes de circuit, lors du traitement. Le dispositif utilise un four inductif pour chauffer rapidement et uniformément les composants. Son contrôle avancé du profil thermique assure un chauffage rapide et uniforme pour maintenir le contrôle de température souhaité. AST Helios dispose également d'un équipement d'injection de gaz pour l'azote, l'argon et l'hydrogène, permettant un contrôle rapide et contrôlé de l'atmosphère. Le dispositif a une température maximale de 1250 ° Celsius et assure un chauffage uniforme sur la plaquette. On obtient ainsi un gradient thermique lisse et uniforme à travers le substrat. Il a des vitesses de montée et de rafraîchissement uniformes, permettant un meilleur contrôle sur le cycle thermique. Le système offre un contrôle dynamique de la température avec une vitesse de rampe maximale atteignable de 350 ° C par seconde. Cela permet un traitement thermique rapide des composants sans les endommager. STEAG Helios est capable de mesurer et d'enregistrer des points de données pendant le traitement. Il dispose également d'une unité intégrée d'acquisition de données qui permet une surveillance continue tout au long du processus. Cette acquisition de données est utilisée pour assurer une homogénéité et un contrôle de température optimaux de la plaquette. L'appareil est livré avec une grande variété de commandes conviviales, allant d'une opération de base « one-touch » à une gamme complète de fonctions de puissance, de temps et de température. MATTSON Helios comprend également une multitude de fonctionnalités avancées telles que plusieurs points de réglage, fonctions d'alarme, contrôle d'accès de l'opérateur, et une fonction « FAF-Trace » (Flexible Asymmetric Filler). Ce dernier permet à la machine d'ajuster dynamiquement les paramètres de la rampe thermique afin que le processus puisse être adapté aux exigences spécifiques d'une plaquette. Helios est à la fois polyvalent et facile à utiliser. Il est conçu pour faciliter le fonctionnement et ses contrôles intuitifs permettent une validation rapide et la configuration du processus. Le dispositif est compatible avec la plupart des équipements modernes de traitement des semi-conducteurs, permettant un traitement hautement intégré et automatisé. Dans l'ensemble, STEAG/MATTSON/AST Helios est un processeur thermique rapide efficace conçu pour répondre aux besoins des procédés actuels de fabrication de semi-conducteurs. Ses performances de chauffage rapide et ses capacités de contrôle thermique avancées fournissent la précision et la polyvalence requises par l'industrie moderne des semi-conducteurs.
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