Occasion STEAG / MATTSON / AST Helios #9241199 à vendre en France
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ID: 9241199
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Rapid Thermal Processor (RTP), 12"
2006 vintage.
STEAG/MATTSON/AST Helios est un processeur thermique rapide qui est utilisé à la fois pour le traitement général et les applications spécialisées. Il a la capacité de chauffer rapidement les matériaux à haute température en un court laps de temps tout en fournissant un profil de température précis. AST Helios utilise divers générateurs RF et appareillages de commutation pour chauffer rapidement et de cycle à des températures précises à une vitesse constante ou programmée. Le processus est surveillé à l'aide de thermocouples et de spectroscopie optique d'émission pour s'assurer que la température correcte est atteinte. Pour améliorer encore la précision, des miroirs céramiques thermiquement conducteurs sont utilisés pour réfléchir le rayonnement infrarouge généré par les générateurs RF. Le contrôle précis de la température combiné à un débit de chaleur élevé permet à STEAG Helios de traiter les matériaux plus rapidement que de nombreuses autres méthodes de traitement thermique. Il en résulte des temps de cycle plus courts et une augmentation du débit. En outre, il peut être utilisé pour réaliser le recuit d'activation basse température, le collage de diffusion et le revêtement de diffusion parmi d'autres procédés. La conception modulaire d'Helios permet des configurations personnalisées, permettant son utilisation dans un large éventail d'applications, y compris la fabrication de semi-conducteurs, la fabrication de microélectroniques, et la modification catalytique de surface. Son système de contrôle est également hautement personnalisable, permettant aux utilisateurs de programmer des recettes de traitement sur mesure avec des recettes pour différents matériaux. MATTSON Helios est également équipé de dispositifs de sécurité supplémentaires pour assurer le fonctionnement en toute sécurité de l'appareil et de ses composants. Ces caractéristiques comprennent les systèmes de sécurité à surchauffe et à surtension, les boutons d'arrêt d'urgence et les systèmes de protection à haute température pour arrêter les générateurs RF et les appareillages de commutation en cas de surchauffe. STEAG/MATTSON/AST Helios est une solution idéale pour ceux qui nécessitent un traitement de haute précision et de qualité. Sa conception modulaire et sa personnalisation le rendent bien adapté à un large éventail d'applications. En outre, son contrôle serré de la température et des débits de chaleur élevés en font l'un des processeurs thermiques rapides les plus efficaces disponibles.
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