Occasion STEAG / MATTSON / AST Helios #9255871 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST Helios est un processeur thermique rapide (RTP) conçu pour fournir une solution de chauffage à haute température pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le RTP est capable de changer rapidement la température d'un substrat, d'une température ambiante à une température maximale fixée, en quelques minutes. Il fonctionne en utilisant le chauffage par rayonnement du substrat, à une plage de longueurs d'onde optimisée pour générer efficacement la température désirée. Le RTP peut également être utilisé pour des traitements de recuit du substrat, car il est capable de réaliser un profil de température sur l'ensemble du substrat. L'équipement AST Helios est composé de trois composants : un générateur d'énergie hyperfréquence, une antenne hyperfréquence et la chambre de réaction. Le générateur contient les composants nécessaires pour convertir l'énergie électrique en micro-ondes, qui sont ensuite rayonnées de l'antenne dans la chambre de réaction. A l'intérieur de la chambre de réaction se trouve un réseau de réflecteurs à quartz qui focalisent les micro-ondes sur le substrat, ce qui régule l'absorption d'énergie par le substrat. Les réflecteurs à quartz sont disposés de manière à réduire l'absorption d'énergie non uniforme, en fournissant un profil de température uniforme sur l'ensemble du substrat. Pour un contrôle précis de la température, le système STEAG Helios est équipé d'un régulateur de température automatisé. Ceci ajuste automatiquement la puissance du générateur hyperfréquence pour maintenir la température désirée. Cette unité utilise également un régulateur de débit massique pour contrôler le débit d'un gaz chauffé pour le refroidissement. Ceci permet un refroidissement rapide du substrat, évitant ainsi une surchauffe et des dommages thermiques au dispositif. La machine Helios est un processeur thermique rapide très fiable et efficace. Il est capable d'assurer une répartition uniforme des températures sur des substrats entiers, et est idéal pour un recuit thermique rapide de dispositifs électroniques. En outre, son contrôle précis de la température et son refroidissement efficace permettent aux fabricants de produire des dispositifs de haute qualité de manière efficace et rentable.