Occasion STEAG / MATTSON / AST Helios #9256880 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST Helios est un processeur thermique rapide (RTP) conçu pour le traitement thermique sophistiqué des plaquettes semi-conductrices. Il utilise le chauffage par micro-ondes à impulsions courtes, par laser ou plasma pour réaliser rapidement et efficacement des processus thermiques tels que le recuit thermique rapide (RTA), l'oxydation et le dépôt pour la fabrication de dispositifs. Conçu pour la recherche et le développement ainsi que la production de volume, AST Helios RTP dispose d'un contrôle de température flexible et fiable sur une large gamme de températures et offre une répétabilité élevée. Basé sur la technologie des lampes à quartz planaire à haute intensité, STEAG Helios RTP propose un traitement thermique ultra-rapide à l'aide d'une lampe à halogénure métallique horizontale capable de fournir un spectre lumineux intense en dehors de la bande pour un traitement plus rapide. Il dispose également d'un réflecteur à angle variable pour diriger la lumière sur la plaquette. Le réglage de l'angle du réflecteur permet aux utilisateurs d'adapter le profil de la lampe à la position et à la hauteur de la plaquette pour une uniformité maximale. MATTSON Helios dispose d'un équipement de contrôle thermique avancé pour assurer une uniformité de température précise sur la plaquette. Le système de gestion thermique comprend un capteur de température infrarouge, des boucles de retour de température et des régulateurs de température à action rapide. Pour les processus thermiques intenses tels que la nitridation thermique rapide (RTN), Helios dispose également d'une protection contre les dépassements de température pour assurer la sécurité des opérateurs. De plus, les performances du procédé sont encore optimisées grâce à une technique de mesure multi-longueurs d'onde, qui surveille en continu deux longueurs d'onde à l'aide d'un instrument sur plaquette. Ceci assure un contrôle précis de la consigne de température tout au long du processus. STEAG/MATTSON/AST Helios dispose également d'une unité de distribution de gaz intégrée pour contrôler l'atmosphère des plaquettes. Il supporte une variété de gaz pour les processus d'oxydation, de dépôt et de recuit et peut être modifié pour répondre aux besoins des clients. AST Helios dispose également d'une large gamme d'accessoires qui permettent aux clients de personnaliser leurs processus. Ces accessoires comprennent notamment la rotation des plaquettes, les extensions de bras, les systèmes d'imagerie et les systèmes de surveillance de la température et du gaz. Toutes ces fonctionnalités offrent aux clients une flexibilité inégalée et des performances de processus supérieures. En conclusion, STEAG Helios est un processeur thermique rapide très avancé conçu pour le traitement thermique à haut débit et précis des plaquettes semi-conductrices. Avec sa combinaison de vitesses de chauffage ultrarapides, d'un contrôle précis de la température et d'une machine à gaz flexible, MATTSON Helios offre des performances de traitement supérieures pour une variété de procédés thermiques.