Occasion STEAG / MATTSON / AST Helios #9270998 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST Helios est un processeur thermique rapide (RTP) conçu pour chauffer et refroidir rapidement les échantillons de plaquettes en petits lots en un seul lot. Cet équipement RTP est composé de quatre composants : une chambre basse pression, un ensemble de four, un modulateur de champ électrique et un système de changement de pression atmosphérique. La chambre basse pression fournit une atmosphère étanche qui est contrôlée par la température et sèche. L'ensemble du four permet un chauffage et un refroidissement uniformes et rapides des échantillons de plaquettes. Il se compose de plusieurs chauffages chauffés et refroidis qui sont séparés par les plaques d'appui de l'échantillon pour créer un profil de température. Cela permet un contrôle précis de la température et une répartition sur l'échantillon. Le modulateur de champ électrique est utilisé pour changer le champ électrique de la plaquette à travers l'échantillon pour réguler le rapport densité électron-trou. Cela garantit qu'un processus thermique uniforme est appliqué à l'échantillon. Enfin, l'unité de changement de pression atmosphérique permet un contrôle précis de la pression de la chambre de manière à contrôler avec précision le processus de refroidissement ou de chauffage. AST Helios est capable d'atteindre des températures de 120 à 1000 degrés Celsius en moins de 2 minutes. Avec son logiciel SmartMonitor, les utilisateurs ont la possibilité de programmer plusieurs recettes et charges de traitement, ainsi que de surveiller l'avancement du processus directement ou à distance. En outre, STEAG Helios dispose d'une variété de dispositifs de sécurité conçus pour protéger les utilisateurs et les échantillons. Ceux-ci comprennent une connexion de remplissage de gaz inerte, un refroidissement forcé de l'air pour la chambre, des alarmes de température et une machine de détection de fumée. L'outil MATTSON Helios RTP offre plusieurs avantages, tels que le traitement rapide, la quasi-uniformité de la température des échantillons, une sécurité accrue et un contrôle précis. Ce processeur thermique rapide peut être utilisé dans diverses industries telles que les semi-conducteurs, la recherche sur les matériaux, le développement de procédés et la fabrication de dispositifs.