Occasion STEAG / MATTSON / AST Helios #9273940 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST Helios est un moteur de processeur thermique rapide avancé, conçu spécifiquement pour l'industrie des semi-conducteurs afin d'améliorer les performances. Il est capable de fournir une grande uniformité thermique entre les plaquettes et entre les différents jeux de température d'une seule feuille de route. AST Helios offre également un débit de plaquettes exceptionnel et une répétabilité élevée avec des marges de processus serrées. STEAG Helios utilise une source de chauffage rayonnante haute puissance de 2000 W et une technique de refroidissement à chasse d'eau pour fournir un traitement thermique rapide aux substrats. Il comprend également une conception de mur froid breveté unique pour éliminer les effets d'interférence entre le substrat et les parois de la chambre de procédé. Cela réduit considérablement le temps d'utilisation et permet des temps de cycle beaucoup plus courts. Helios dispose d'un système de contrôle impressionnant qui utilise un bus de message de contrôle thermique numérique (DTM-Bus) et de messagerie de contrôle thermique prédictif (PTM). Cela permet un contrôle précis en boucle fermée de tous les paramètres vitaux du processus et établit une nouvelle norme pour le traitement thermique rapide. Il est également équipé d'une gamme de diagnostics sophistiqués tels qu'un système avancé de gestion des pannes et une surveillance avancée des paramètres de processus. MATTSON Helios dispose également d'une gamme de fonctions de sécurité améliorées telles que l'architecture du système ouvert, les dispositifs de sécurité intégrés et les arrêts d'urgence complets pour assurer une sécurité maximale en tout temps. Dans l'ensemble, STEAG/MATTSON/AST Helios est un excellent processeur thermique rapide doté de technologies avancées et d'un design de pointe. Il permet d'améliorer le débit et la répétabilité des plaquettes de manière rentable et fournit une solution fiable, flexible et sûre pour RTP, WTL, recuit, oxydation, diffusion, et d'autres applications de procédé SiC.