Occasion STEAG / MATTSON / AST Helios #9273943 à vendre en France
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ID: 9273943
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
(3) TDK
TAS300 Load port
(2) Chambers
(2) Blowers
2007 vintage.
STEAG/MATTSON/AST Helios est un processeur thermique rapide conçu pour supporter un large éventail de processus de température tels que le recuit, l'oxyde, le nitrure et la diffusion. Cet outil de pointe fournit un contrôle thermique précis, une uniformité de température précise et des temps de cycle rapides pour les processus thermiques. Il offre également des options de programmation flexibles avec la possibilité d'enregistrer et de rappeler des recettes pour plusieurs étapes de processus, ainsi qu'une interface intuitive qui permet une configuration rapide. AST Helios est équipé de plusieurs fonctionnalités avancées qui lui donnent une homogénéité et un contrôle de température supérieurs. Il utilise un système de chauffage à deux étages dans lequel les puissances de chauffage sont commandées séparément, et une variété d'algorithmes de contrôle sont utilisés pour assurer un contrôle précis de la température. Les éléments chauffants présentent également une grande tolérance aux fluctuations de température et donnent une large gamme de profils reproductibles. STEAG Helios utilise également une chambre sous pression intégrée, lui permettant d'atteindre rapidement des températures élevées et d'assurer une répartition uniforme de la température entre les plaquettes. Il dispose également de capteurs de température et d'une chambre de pression capable de résister à des températures allant jusqu'à 1000C. Le système effectue des cycles thermiques rapides avec des temps de processus plus courts et une plus grande précision, ce qui se traduit par une meilleure reproductibilité du procédé. Il dispose également d'une thermographie en temps réel et d'un suivi quadrant de la plaquette qui permet à l'utilisateur d'observer et de suivre l'avancement du processus. Helios utilise des logiciels avancés de collecte de données, d'acquisition de signaux et de contrôle qui permettent de surveiller et de contrôler le système à distance et sur les réseaux. Ce logiciel permet de modifier facilement à distance le cycle thermique sans interrompre le processus. MATTSON Helios est certainement l'un des processeurs thermiques rapides les plus robustes et les plus fiables du marché. Son contrôle supérieur de la température et son uniformité, ainsi que ses temps de cycle rapides et ses options de programmation flexibles en font un choix idéal pour les processus thermiques.
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