Occasion STEAG / MATTSON / AST Helios #9281783 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST Helios est un processeur thermique rapide (RTP) utilisé dans la fabrication de circuits intégrés. L'AST Helios est utilisé pour élever ou abaisser rapidement les températures sur des plaquettes ou des substrats pendant le processus de fabrication du circuit intégré. Ce procédé est connu sous le nom de traitement thermique. STEAG Helios dispose d'un équipement d'alignement au sommet de précision micron qui lui permet d'atteindre rapidement la température requise pour chaque substrat, assurant des résultats précis. Ceci est important pour la fabrication de circuits intégrés car il assure que chaque plate-forme sur le substrat atteint la même température de consigne, ce qui est essentiel pour une fabrication efficace et précise du dispositif. Helios utilise une combinaison de chauffage direct au gaz et de traitement par plasma pour atteindre les objectifs de température. Le système de chauffage direct au gaz permet à MATTSON Helios de transférer plus de 10.000 watts d'énergie thermique sur la plaquette, lui permettant d'atteindre rapidement la température de consigne. Le traitement par plasma permet à STEAG/MATTSON/AST Helios d'atteindre des températures uniformes sur toute la tranche, ce qui est important lors de la fabrication et de la liaison des circuits intégrés. L'AST Helios comporte 3 segments principaux : l'unité de régulation de température, la chambre de chauffage et l'unité de distribution de gaz. L'unité de contrôle de température surveille et maintient les niveaux de température, fournissant une plage de température de 200 ° C à 1000 ° C avec une précision de ± 5,5 ° C. La chambre de chauffage est utilisée pour soumettre la plaquette à l'énergie thermique spécifiée afin d'atteindre les niveaux de température requis. La machine de distribution de gaz est utilisée pour fournir des gaz spéciaux à la chambre, tels que l'azote, l'hélium et l'argon. STEAG Helios dispose également d'un outil de chauffage secondaire appelé blanketing chauffant. Cet actif utilise du gaz chaud qui circule à travers la chambre de procédé, assurant l'isolation des influences extérieures. En même temps, le blanketing chauffé contribue également à réduire la contrainte et la contrainte que subit la chambre de procédé lors des changements rapides de température. Helios fournit aux fabricants de circuits intégrés un modèle de traitement thermique de haute précision et efficace qui réduit les défauts et améliore le temps de traitement. Il en est résulté un niveau élevé de satisfaction des clients, ce qui en fait un élément important de toute installation de fabrication de circuits intégrés.