Occasion STEAG / MATTSON / AST SHS 2800 #293813733 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800 est un processeur thermique rapide de qualité industrielle (RTP) utilisé dans diverses applications microélectroniques, y compris la recherche et le développement, la production et les essais/réparations. L'AST SHS 2800 est conçu pour offrir un contrôle thermique précis et répétable dans une large gamme de températures afin de permettre la fabrication de micro-appareils de haute qualité et performants. STEAG SHS-2800 est capable de réaliser un recuit thermique rapide (RTA), une activation rapide du dopant thermique (RTDA), une oxydation thermique rapide (RTO), une diffusion thermique rapide (RTD), une nitridation thermique rapide (RTN), une nitridation/oxydation thermique rapide (RTNO) et une hydrogénation thermique rapide (RTH). Il est équipé d'un système intégré de surveillance de la température du substrat et de contrôle de la température multi-zones. Il est capable de varier de -75 à + 650 ° C avec un taux de rampe maximal de 15 ° C/s. STEAG/MATTSON/AST SHS-2800 offre de multiples options pour les supports de plaquettes, avec une force de contact définie par l'utilisateur pour un contact thermique uniforme. Ces supports peuvent être utilisés pour une variété de substrats jusqu'à 200mm de diamètre. MATTSON SHS-2800 est également équipé d'une lampe halogène quartz- 200W pour le chauffage des échantillons. Le système est également équipé de multiples options pour la livraison de gaz, permettant un contrôle précis de la livraison de gaz avec des modèles définis par l'utilisateur pour le contrôle précis du processus. STEAG SHS 2800 comprend un module mélangeur de gaz, avec une distribution simultanée de jusqu'à 5 gaz par module et des mélanges de gaz entièrement définis par l'utilisateur. SHS 2800 comprend également une interface utilisateur graphique (UI) optionnelle, permettant une surveillance et un contrôle précis de tous les paramètres du processus. Il fournit des graphiques en temps réel des paramètres du processus, y compris les profils de température et de composition des gaz. Il fournit également un système de chargement/déchargement automatisé des plaquettes, avec arrêt automatique à la fin du processus. SHS-2800 permet un contrôle précis en temps réel de tous les paramètres du processus et un datalogage des résultats thermiques et gazeux. Il est conçu pour faciliter le fonctionnement et l'entretien et est logé dans un cadre de salle blanche de classe 100 pour un maximum de sécurité et de fiabilité. Globalement, l'AST SHS-2800 est un choix idéal pour toute application microélectronique nécessitant un contrôle thermique précis et une uniformité. Ses paramètres de processus définis par l'utilisateur et sa large gamme de températures permettent la fabrication de micro-dispositifs de haute qualité et performants.