Occasion STEAG / MATTSON / AST SHS 2800 #9096061 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800 est un processeur thermique rapide avancé (RTP) conçu pour le traitement thermique rapide et précis des plaquettes et des substrats. C'est un outil de pointe pour le recuit thermique rapide et les processus d'oxydation thermique rapide. L'AST SHS 2800 permet un traitement thermique rapide dans un système uniforme avec un contrôle précis des conditions d'énergie solaire. Chaque chambre comporte deux zones de température indépendantes, qui peuvent être programmées dans n'importe quelle combinaison souhaitée, et peuvent atteindre des températures maximales de 2400 ° C La conception unique de STEAG SHS-2800 empêche la croisements et limite l'impact de la production de particules, offrant une protection supplémentaire pour les substrats sensibles. L'outil est équipé d'une gamme de capacités diagnostiques avancées, lui permettant de mesurer des variables telles que la température de la plaquette, le débit de gaz et la pression à l'intérieur de la chambre avec précision et précision. Il est également conçu avec une gamme de caractéristiques de sécurité qui aident à prévenir les dangers potentiels et assurer un fonctionnement sûr. MATTSON SHS 2800 peut traiter jusqu'à 200 plaquettes de 300mm ou 400 plaquettes de 200mm par heure, assurant un retournement rapide. Il dispose également d'une plate-forme doseuse monobloc qui assure un chauffage cohérent des plaquettes et élimine les fuites thermiques. De plus, l'outil offre une précision exceptionnelle pour les substrats, nécessite un contrôle précis de la température et une uniformité. SHS 2800 Rapid Thermal Processeur assure un traitement thermique rapide avec des diagnostics avancés et des fonctionnalités de sécurité, assurant un fonctionnement sûr et efficace. Il offre une uniformité de processus exceptionnelle avec des températures maximales de 2400 ° C et des garanties contre les risques potentiels. Enfin, la plate-forme doseuse monobloc assure un débit rapide et une cohérence de chauffage à travers le substrat.