Occasion STEAG / MATTSON / AST SHS 2800E / 2800 CS #9179203 à vendre en France

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ID: 9179203
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
Rapid thermal processor, 8" Gasses: Argon Oxygen Nitrogen IBM Compatible PC SECS / GEM Interface (3) Cassette nests Flat aligner Equip robot Currently crated 1994 vintage.
STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E/2800 CS est un processeur thermique rapide multi-zones (RTP). Cet équipement a été conçu pour utiliser le plasma infrarouge riche en énergie pour chauffer rapidement, refroidir, recuit, et autrement traiter des plaquettes. C'est un équipement très précis et fiable construit pour les environnements de production. Son équipement compatible ion-implant peut traiter rapidement même les structures les plus complexes avec précision et précision. La conception multi-zones du processeur intègre trois zones indépendantes de chauffage, de refroidissement de surface et de refroidissement. Chaque zone est équipée de relais à l'état solide, permettant un cyclage à haute vitesse et à température uniforme. Couplées à la vitesse de traitement rapide du contrôleur de processeur, ces fonctionnalités permettent une exécution efficace de la séquence du processus thermique. Le système de tête de douche axiale de l'AST SHS 2800E/2800 CS est une caractéristique clé du processeur. Il utilise une unité de convection à air forcé à grande vitesse pour obtenir des profils thermiques très uniformes sur les plaquettes petites et grandes. La machine de convection à air forcé est également associée à un bouclier en quartz transparent afin de minimiser l'accumulation de charges latérales sur la plaquette pendant le traitement. STEAG SHS 2800E/2800 CS est également livré avec une variété de fonctions de sécurité intégrées, y compris l'arrêt automatique et la surveillance continue, de bas niveau et en temps réel de l'environnement de processus. Ces caractéristiques garantissent que le processeur fonctionne en toute sécurité et dans le respect des directives de sécurité établies. En plus de ses capacités de traitement thermique, SHS 2800E/2800 CS est également compatible avec une variété de besoins de traitement des additifs, y compris la livraison de gaz, la dictée laser, et plus encore. Ce processeur peut être utilisé pour une variété de procédés, y compris PEDOT : PSS, couches tampons pour produits semi-conducteurs composés, et plus encore. Le MATTSON SHS 2800E/2800 CS est un RTP multizone performant qui offre des résultats fiables et reproductibles, un rendement élevé, un fonctionnement peu coûteux et un cyclage thermique à grande vitesse. Cet équipement polyvalent est bien adapté à une variété d'applications et peut traiter rapidement et efficacement une large gamme de configurations de plaquettes.
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