Occasion STEAG / MATTSON / AST SHS 2800E #9092862 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E Rapid Thermal Processor est un équipement spécialisé utilisé pour le traitement de plaquettes et autres substrats semi-conducteurs à des températures extrêmes. L'équipement contient deux composants primaires : une chambre et un dissipateur. La chambre est une chambre à double paroi résistante au vide avec une enveloppe interne, qui aide à entrecroiser la chaleur concentrée vers le substrat. Le dissipateur est un ensemble de neuf éléments chauffants qui sont programmés individuellement pour générer des températures allant jusqu'à 1200 ° Celsius. Le contrôle serré des éléments chauffants et leur réponse rapide font de l'AST SHS 2800E la machine la plus polyvalente de sa catégorie. STEAG SHS 2800E est principalement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs pour le recuit thermique rapide, la diffusion et l'implantation d'impuretés. Avec son équipement de contrôle du cycle thermique de pointe, jusqu'à neuf cycles peuvent être réalisés avec précision, même si les paramètres du processus ou les plaquettes sont modifiés. Cette précision de contrôle de la température fait de SHS 2800E la machine idéale pour des étapes de processus complexes telles que l'activation de la grille de poly-silicium, la formation d'interconnexions métalliques et le traitement des dispositifs SOI. La machine contient également une petite plate-forme mobile pour que les plaquettes puissent être placées sur le substrat rapidement et facilement. En outre, il existe un système avancé de commande de l'évaporateur pour permettre des évaporations multiples à l'intérieur de la chambre à vide. De plus, une unité de diagnostic en temps réel est intégrée à l'unité pour fournir une rétroaction détaillée sur les paramètres du procédé, la température, la pression du gaz et la température du substrat. MATTSON SHS 2800E est compact et est livré avec une machine de climatisation intégrée pour un refroidissement optimisé de la chambre. Avec un débit total de 200 plaquettes par heure, l'unité est incroyablement efficace et est le choix idéal pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est également livré avec un outil de contrôle convivial, qui est facile à programmer et à comprendre, ce qui en fait un excellent choix pour les laboratoires industriels et de recherche. En résumé, STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E Rapid Thermal Processor est l'une des machines les plus fiables et efficaces disponibles sur le marché. Ses capacités de régulation de température et de programmation multi-cycles de haute précision en font un choix parfait pour toute application de traitement de plaquettes.