Occasion STEAG / MATTSON / AST SHS 2800E #9092863 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E Rapid Thermal Processor est un équipement de traitement thermique conçu pour un large éventail d'applications industrielles et de recherche. Il est adapté pour le traitement de plaquettes jusqu'à 6 pouces de diamètre avec une épaisseur maximale de 0,2 mm. Il contient une seule chambre chauffée par une paire de fours capables de délivrer des températures allant jusqu'à 1100 ° C Ces fours sont situés au-dessus et au-dessous de la chambre, de manière à assurer un chauffage uniforme sur tout le substrat. Le système dispose également d'un contrôle précis de la température avec une grande uniformité thermique, une grande flexibilité de la vitesse de rampe, une large gamme de gaz de procédé, et une large gamme de pression de traitement (50 mbar C). Il comporte également une unité intégrée de gestion de gaz avec quatre conduites de gaz capables de transporter neuf gaz différents. L'unité est automatisée et peut être programmée avec plusieurs recettes pour maximiser l'efficacité. La machine est équipée d'un outil automatisé de chargement/déchargement de la trappe et d'un outil de manutention en plaquette pouvant accueillir jusqu'à 30 plaquettes par processus. Il dispose également d'un moniteur de processus pour la double vue de la surface de l'échantillon. En outre, le modèle dispose de dispositifs de sécurité avancés pour protéger le personnel, l'unité et les substrats contre les dommages potentiels en cours d'exploitation. Il s'agit notamment de la surveillance automatique de tous les composants de l'équipement de sécurité, de l'alarme sur-température, des détecteurs d'entrée et de sortie d'azote, ainsi que d'un contrôleur de vide puissant. Le système de traitement thermique communique avec le logiciel utilisateur final via l'interface PROCO Plus, une unité de contrôle distribuée. Cela permet à un utilisateur de surveiller le processus en temps réel à l'aide de l'interface graphique intégrée de la 2800E et de configurer des programmes pour exécuter des processus en tranches à partir d'un endroit distant. AST SHS 2800E Rapid Thermal Processor est une machine avancée pour le traitement à haute température et la fabrication de plaquettes. Il offre un chauffage uniforme et régulier du substrat avec un excellent contrôle de la température, ainsi que des dispositifs de sécurité fiables pour protéger le personnel, l'unité et les substrats. Il est adapté à de nombreuses applications industrielles et de recherche et peut être programmé avec des recettes pour les opérations automatisées.