Occasion STEAG / MATTSON / AST SHS-2800SF #293815994 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST SHS-2800SF Rapid Thermal Processor (RTP) est un outil puissant et polyvalent conçu pour fournir un contrôle de température précis pour une gamme de dispositifs électriques, photoniques et optoélectroniques. L'AST SHS-2800SF se compose d'un contrôleur électronique unique avec deux étages indépendants, à haute vitesse et à température contrôlée. L'étage primaire assure un chauffage et un refroidissement rapides uniformes avec une précision allant jusqu'à 10 ° C et un temps de réponse de 3 à 10 secondes. Cette étape est destinée à supporter des procédés tels que le recuit thermique rapide (RTA), la diffusion, l'oxydation et la silicisation. L'étage secondaire assure un refroidissement rapide, avec un temps de réponse de 4-15 secondes et une vitesse de refroidissement allant jusqu'à 1000 ° C/seconde. Cette étape à température contrôlée est conçue pour supporter des procédés tels que le nitrure thermique rapide et l'oxydation thermique rapide. STEAG SHS-2800SF comprend un contrôle avancé de la température à base de thermocouple, fournissant des mesures de température précises qui peuvent être surveillées en temps réel. Ce système prend également en charge les cycles de processus simples et continus, ce qui permet des processus reproductibles et cohérents. Le contrôleur est enfermé dans une armoire de purge à l'azote hermétiquement scellée, qui fournit un niveau supplémentaire de stabilité et de contrôle de la température. Un sas refroidi par air fournit une couche supplémentaire de protection, permettant le transfert de substrats vers et depuis le RTP tout en maintenant l'atmosphère de la chambre. MATTSON SHS-2800SF fournit une solution puissante et polyvalente pour des processus de régulation de température précis. Il a la capacité de contrôler précisément la température avec un chauffage et un refroidissement uniformes, et son système de contrôle de température avancé fournit des processus reproductibles et cohérents. Cet instrument à haute performance est un outil précieux pour le développement de processus et la production d'une variété de dispositifs électriques, photoniques et optoélectroniques.