Occasion STEAG / MATTSON / AST SHS #9192433 à vendre en France

STEAG/MATTSON/AST SHS est un processeur thermique rapide (RTP) robuste et performant conçu pour la production de dispositifs semi-conducteurs. Il est capable de chauffer et de refroidir rapidement les substrats, principalement utilisés pour le traitement des plaquettes de lot et la production de petits appareils. Le processeur AST SHS est un RTP à pression atmosphérique à trois chambres qui utilise la technologie de recuit thermique rapide à zone chauffée quadruple (QHZ). Chaque chambre est équipée de quatre zones de chauffage commandées indépendamment pour un contrôle précis de la température. La température dans chaque zone peut être ajustée indépendamment à +/- 0,01 ° C de la consigne souhaitée, ce qui permet un contrôle précis de la température dans tout le substrat. STEAG SHS utilise également un débit de gaz à grande vitesse pour garantir une performance thermique et une uniformité efficaces. Le débit peut être ajusté à la fois dans les zones de chauffage et de refroidissement. La conception globale de MATTSON SHS comprend plusieurs étapes. Il s'agit d'une chambre, d'un préchauffeur, d'un réchauffeur de zone, d'un récipient de refroidissement, d'une sortie de gaz et de deux sources de zone chauffée. La chambre est conçue pour assurer un cyclage thermique contrôlé des plaquettes de substrat, et est entourée d'un absorbeur infrarouge pour maximiser l'efficacité thermique. Le préchauffeur est utilisé pour le chauffage rapide des substrats avant le traitement dans le chauffage de zone. Le chauffage de zone est un système à quatre zones qui peut être ajusté pour répondre à une large gamme de températures, de -150 à + 100 degrés Celsius. Le récipient de refroidissement aide au refroidissement uniforme des substrats, et la sortie de gaz fournit un flux de gaz rapide pour permettre un refroidissement uniforme. Les deux sources de zone chauffée assurent un contrôle précis de la température à l'intérieur de la chambre. SHS est capable de fonctionner en série ou en production, et est équipé d'un logiciel pour simplifier la programmation de tous les paramètres du système. L'interface utilisateur de STEAG/MATTSON/AST SHS est simple et conviviale, et offre une variété de représentations graphiques pour une rétroaction visuelle facile. Des modes manuel et automatique peuvent également être utilisés, permettant un fonctionnement simplifié du processus. De plus, l'AST SHS dispose également d'un système de sécurité intégré pour assurer une protection complète du personnel et des substrats pendant le traitement. STEAG SHS est une option idéale pour la production d'une grande variété de circuits intégrés, des petits appareils aux grands semi-conducteurs numériques. Grâce à sa combinaison unique de technologie et d'interface conviviale, il offre un traitement thermique efficace et fiable.