Occasion TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS 5BAO-200 #9227375 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200 est un processeur thermique rapide (RTP) offrant des performances élevées fiables pour traiter les processus thermiques des plaquettes à semi-conducteurs. Il utilise le chauffage et le refroidissement par convection forcée avec une capacité à plusieurs zones pour obtenir un contrôle précis de la température et de l'uniformité. TEL 5BAO-200 est conçu pour traiter des plaquettes grandes et lourdes, jusqu'à 8 pouces de diamètre, avec un contrôle précis de la température pour des applications de traitement thermique telles que le recuit, la recristallisation et la diffusion. Il offre une capacité de traitement des plaquettes à chaud et à froid avec une sélection multiple/double zone pour contrôler précisément la température de surface de chaque plaquette. WAFERMASTERS 5BAO-200 dispose d'une capacité de chauffage rapide, avec un temps de réponse de seulement 5 millisecondes à des températures allant jusqu'à 1400˚C. Ce chauffage rapide permet de compléter des procédés tels que la diffusion, l'oxydation et la nitridation en une fraction du temps requis par les méthodes traditionnelles. TOKYO ELECTRON 5BAO-200 offre également une option de refroidissement rapide, avec un temps de refroidissement de seulement 12 secondes de 1200˚C à la température ambiante. Le système dispose d'un contrôleur avancé avec une sélection de zones multiples 4x4, permettant un contrôle précis des températures sur toute la surface de la plaquette. Cela permet un réglage précis de la température pour optimiser les processus thermiques, et un ajustement précis de la température sur plusieurs couches de matériau. Ces caractéristiques permettent de traiter les plaquettes avec plus de précision et d'uniformité. En plus du contrôle de température avancé, 5BAO-200 dispose également d'un contrôle numérique du débit de gaz avec une vanne de type turbo pour fournir des dépôts reproductibles sans variations. Ce contrôle du débit de gaz améliore la répétabilité et la reproductibilité du procédé. TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200 comprend également un mécanisme de transfert automatique de plaquettes encapsulé en quartz. Cela permet un chargement et un déchargement efficaces, réduisant l'exposition des plaquettes traitées à l'environnement ambiant. Cela permet de minimiser l'oxydation ou la contamination des wafers par des matières étrangères. TEL 5BAO-200 est un processeur thermique rapide fiable et très efficace, conçu pour répondre aux normes les plus élevées de l'industrie. Il fournit les dernières technologies de traitement thermique de pointe, avec un contrôle précis de la température, des temps de chauffage et de refroidissement rapides, et un contrôle numérique du débit de gaz avancé. Avec son ingénierie de haute qualité et sa construction robuste, WAFERMASTERS 5BAO-200 est idéal pour des applications telles que la diffusion, l'oxydation et la nitridation.