Occasion TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SRTF200-LP #9144808 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LP est un processeur thermique rapide avancé utilisé pour le traitement de plaquettes dans la fabrication de semi-conducteurs. Il dispose d'une technologie brevetée de traitement thermique rapide (RTP), lui permettant d'offrir des performances de traitement thermique de haute précision sur une large gamme de matériaux et de substrats. TEL SRTF200-LP est un système de porte-bobines simple avec une plage de température de -25 ° C à 1600 ° C, qui convient à une variété de paramètres de processus. Il a une conception unique de porte d'obturateur de rotation pour échanger des plaquettes pendant le processus thermique et des rampes de température rapide jusqu'à 15 ° C/s, lui donnant une solution de processus thermique rapide comme aucun autre. Il est également équipé d'un système de vision avancée qui permet un alignement précis des plaquettes lors du transfert des plaquettes et une surveillance de la vision lors des étapes dynamiques du processus. WAFERMASTERS SRTF200-LP dispose également d'une grande variété de modules optionnels qui peuvent être ajoutés afin de personnaliser le système aux besoins spécifiques du client en matière de processus. Il s'agit notamment d'un module de réacteurs pour le traitement de DEP, PECVD, CVD, ALD et d'autres matériaux en couches ; un dispositif de chauffage au suscepteur pour élever les plaquettes à des températures supérieures à 1200 ° C ; un support en quartz pour recevoir les plaquettes du bras de chargement sous vide dans la chambre ; et un interféromètre laser intégré pour un chargement et un positionnement précis des plaquettes. Grâce à sa flexibilité et à son contrôle thermique de haute précision, TOKYO ELECTRON SRTF200-LP permet un alignement et une répétabilité parfaits des processus tout en offrant une solution facilement intégrée dans des systèmes hautement automatisés. C'est une solution idéale pour les industries de haute technologie qui nécessitent un traitement thermique précis, efficace et fiable.