Occasion TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SRTF200-LP #9210339 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SRTF200-LP
ID: 9210339
Taille de la plaquette: 8"
Rapid thermal annealing system, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LP est un processeur thermique rapide (RTP) conçu pour répondre aux besoins de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il offre une répétabilité de processus élevée et des capacités de contrôle de processus supérieures, ce qui en fait une solution efficace pour les clients dans une variété d'environnements de production. TEL SRTF200-LP est une lampe RTP de type LED équipée de lampes LED à entraînement direct de grande puissance. Les lampes LED offrent une large gamme de longueurs d'onde de fonctionnement et une grande uniformité, permettant un traitement thermique plus rapide des plaquettes même à des températures plus basses. Les excellentes caractéristiques optiques de la lampe permettent également un contrôle serré du temps de traitement, assurant la plus grande précision possible. Afin d'optimiser l'homogénéité des températures et d'obtenir des temps de chauffage et de refroidissement rapides, WAFERMASTERS SRTF200-LP est équipé d'un équipement de refroidissement à éléments Peltier. Ce système de refroidissement permet de maximiser l'uniformité du profil de température à travers la plaquette, ce qui donne des résultats uniformes et reproductibles. SRTF200-LP est également livré avec une interface tactile SIEC-ON, permettant une configuration et un fonctionnement faciles de l'unité. TOKYO ELECTRON SRTF200-LP est équipé d'une machine intégrée de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD), qui permet le dépôt de divers matériaux sur la surface de la plaquette. Cet outil offre une plus grande uniformité et des taux de dépôt plus élevés que les procédés CVD standard. En outre, son actif Compact Helix Infrared Source (CHIRS) offre des températures de dépôt plus élevées que les sources infrarouges classiques en ligne étroite. TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LP comprend également un modèle de mesure in situ des plaquettes, permettant une caractérisation précise de la stabilité du procédé. Cet équipement de mesure est livré avec une variété de fonctions analytiques, y compris la spectroscopie optique, l'analyse de ligne de rayons X et la microscopie électronique à balayage. En plus de ces fonctionnalités, TEL SRTF200-LP offre également des options de contrôle de machine, y compris la surveillance de l'état des processus et l'enregistrement des données. Ce RTP est également livré avec une variété de caractéristiques de sécurité, assurant un fonctionnement sûr. Pour maintenir une performance maximale, WAFERMASTERS SRTF200-LP dispose d'un système intégré de surveillance des processus qui ajuste automatiquement le profil de température en fonction des effets de la durée de vie du produit et du processus. Dans l'ensemble, SRTF200-LP est un excellent processeur thermique rapide qui fournit des performances fiables et un excellent contrôle des processus. Ses lampes LED efficaces, une homogénéité de température supérieure, une installation facile et des systèmes PECVD et CHIRS intégrés en font le choix idéal pour les clients dans une variété d'environnements de production.
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