Occasion ULVAC / RIKO MILA-5000 #9357190 à vendre en France

ID: 9357190
Rapid Thermal Annealing systems (RTA).
ULVAC/RIKO MILA-5000 est un processeur thermique rapide (RTP). C'est un outil unique en son genre conçu pour le traitement thermique rapide des substrats, tels que les plaquettes semi-conductrices, les piles à combustible, les photovoltaïques et les écrans. RIKO MILA-5000 est capable de réaliser un traitement à haute température avec une large gamme de températures et de vitesses de chauffage. Il est capable de maintenir une plage de température précise et un chauffage uniforme sur des substrats de forme inégale à une vitesse élevée, ainsi qu'avec des temps de roulage plus courts et des empreintes plus faibles par rapport aux autres systèmes. ULVAC MILA-5000 peut atteindre des températures allant jusqu'à 1000 ° C dans l'air, ou beaucoup plus élevées avec l'utilisation d'une atmosphère de gaz inerte. MILA-5000 est équipé d'un équipement de chauffage puissant et efficace qui utilise des bobines de chauffage par induction ultra compactes et de grande puissance, capables d'offrir une homogénéité de température entre substrats de l'ordre de +/-2 ° C Ce système permet d'atteindre des températures plus élevées à un rythme plus rapide que les systèmes traditionnels, sans nécessiter d'éléments de chauffage supplémentaires. L'unité est également équipée d'une machine de contrôle unique pour le contrôle précis des profils de température - ces systèmes de contrôle permettent des profils de température personnalisés basés sur les exigences d'uniformité du substrat en cours de traitement. ULVAC/RIKO MILA-5000 est un outil complet à faible empreinte, avec un minimum de composants à l'extérieur de l'enceinte principale et une faible consommation d'énergie. Il est conçu pour le cyclisme rapide, avec des températures atteignant 1000 ° C en quelques millisecondes. Sa construction offre une excellente stabilité à la température pour un traitement à long terme avec une uniformité de température de +/-2 ° C Il est également capable de traiter de grands substrats - jusqu'à 300mm - avec une pression allant jusqu'à 0.4Mpa pour des températures plus élevées ou un traitement en atmosphère de gaz inerte. En outre, cet actif peut fournir un film de très haute qualité, et est soutenu par une traçabilité complète, l'enregistrement des données, et des caractéristiques de sécurité pour assurer un processus cohérent et fiable. RIKO MILA-5000 est capable de traiter divers matériaux de substrat, tels que des plaquettes de silicium, des verres et des matériaux spécialisés comme les métaux et la céramique. Son modèle de contrôle permet de surveiller divers paramètres du traitement tels que la température, la pression et le débit de gaz. Il offre également une large gamme de paramètres personnalisables, tels que la vitesse de rampe de température, la pression, la vitesse cyclique et la sélection de l'atmosphère. L'équipement est également équipé d'une interface personnalisée, permettant un contrôle précis et convivial des paramètres. Ceci en fait un excellent choix pour des applications telles que l'oxydation, le recuit, les diffusions, etcetera. En outre, ULVAC MILA-5000 est soutenu par un système complet de soutien technique, y compris des services de maintenance et d'étalonnage pour assurer que l'unité continue de fonctionner à des performances maximales.
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