Occasion ULVAC RTA-0208S #9107274 à vendre en France

ULVAC RTA-0208S est un équipement de traitement thermique rapide (RTP) qui a été conçu pour permettre aux utilisateurs de traiter divers types de matériaux de plaquettes dans un seul processus de dépôt. Ce système combine azote et gaz halogène afin de fournir un traitement thermique rapide (RTP) avec une distribution de chaleur uniforme et un contrôle de température de précision. Avec une grande capacité de 8 pouces, RTA-0208S est capable de traiter rapidement des plaquettes de plusieurs tailles. Cette unité RTP est équipée d'une température de chambre allant de 20 à 1100 ° C, ainsi que d'une unité de compensation de l'inclinaison de température en trois points qui permet d'assurer une température de traitement uniforme. L'une des principales caractéristiques d'ULVAC RTA-0208S est sa capacité à haute température. Il est capable d'atteindre des températures de pointe supérieures à 1000 ° C, ce qui le rend bien adapté aux processus intenses tels que le recuit thermique rapide (RTA) et la réaction thermique rapide (RTR). Cette unité RTP propose également une machine de refroidissement à azote liquide, qui permet d'éviter la surchauffe des plaquettes et d'endommager les éléments délicats. De plus, un outil rotatif d'entrée de gaz aide à répartir uniformément le gaz sur les plaquettes et un joint d'azote liquide en quartz aide à empêcher l'azote de s'échapper dans la chambre. RTA-0208S comprend également une plate-forme de programmation en plusieurs étapes, qui permet aux utilisateurs de créer et de gérer plusieurs étapes de chauffage, de maintien et de refroidissement. Cette caractéristique de programmation permet également aux utilisateurs d'optimiser leur traitement thermique en fonction des différentes caractéristiques de dépôt des plaquettes en cours de traitement. En outre, cet atout est fourni avec un écran tactile intuitif avec saisie directe de données, ainsi qu'un modèle d'affichage de données en temps réel qui offre un guidage de fonctionnement étape par étape. Enfin, l'ULVAC RTA-0208S comprend un spectromètre d'émission optique en ligne (OES) qui aide à surveiller les fluctuations des caractéristiques des plaquettes pendant le processus de dépôt. Cette fonction garantit que le processus est effectué avec une précision et une sécurité optimales. En outre, le moniteur OES peut être utilisé pour surveiller une gamme de paramètres, tels que la concentration d'oxygène et d'hydrogène. Ceci permet de s'assurer que la température et la composition de la plaquette restent dans les fourchettes souhaitées. Dans l'ensemble, RTA-0208S est un processeur thermique rapide impressionnant avec de nombreuses fonctionnalités utiles. Sa capacité à haute température, son équipement de refroidissement à l'azote liquide et ses capacités de programmation en plusieurs étapes le rendent bien adapté à diverses applications de traitement des plaquettes. En outre, son affichage de données en temps réel et son système de surveillance en ligne de l'OES en font un excellent choix pour ceux qui cherchent à assurer la précision et la sécurité de leur processus de traitement thermique.