Occasion AIXTRON 2000 HT #9408163 à vendre en France
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ID: 9408163
Style Vintage: 1997
MOCVD System
Nitride (GaN)
Planetary reactor
Gas foil rotation
Throughput: 7"x2"
EBARA Dry pump
PC Controller
Source configuration:
TMG
TMA
Cp2MG
TEG
TMI
TMSb
1997 vintage.
AIXTRON 2000 HT est un réacteur CVD avancé à haute température conçu pour le dépôt de divers matériaux. Il dispose d'une chambre à vide multizone avancée capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 1000 degrés Celsius. 2000 HT est polyvalent et peut être utilisé pour divers procédés de CVD, y compris le dépôt de plaquettes nues, les revêtements conformes, et plus encore. Il dispose également d'un contrôle de zone indépendant et d'un contrôle de température pour chaque zone. AIXTRON 2000 HT est alimenté par une puissante source de plasma à résonance électronique-cyclotron (ECR). Cette source puissante fournit une bonne uniformité et répétabilité tout en donnant à la chambre des temps de démarrage extrêmement rapides. La chambre est également capable d'utiliser l'hydrogène gazeux pour créer le plasma, ce qui est important pour des applications telles que le dépôt de carbure de silicium et d'autres applications électroniques. 2000 HT est également équipé d'une variété de sources de faisceau électronique qui peuvent être utilisées pour le dépôt et la récupération des matériaux. AIXTRON 2000 HT dispose également d'un chargeur hydraulique pour le chargement et le déchargement sûrs et efficaces de la plaquette. Ceci est particulièrement utile pour des applications nécessitant un grand nombre de plaquettes ou ayant besoin de changer fréquemment de plaquettes. L'équipement dispose également d'un certain nombre de dispositifs de sécurité, y compris des dispositifs de verrouillage haute et basse pression et de surveillance de la pression, pour éviter les surcharges accidentelles dans la chambre. 2000 HT dispose également d'une large gamme d'accessoires et de support logiciel. Ces options élargissent les capacités du système et facilitent l'utilisation du réacteur dans différentes applications et procédés. Ce logiciel permet également aux utilisateurs de contrôler et de contrôler facilement le fonctionnement des systèmes, y compris la source de plasma et la pression de la chambre, ainsi que la température de chaque zone. Dans l'ensemble, AIXTRON 2000 HT est une unité CVD puissante, polyvalente et fiable qui est parfaite pour une large gamme de processus CVD. C'est une machine facile à utiliser et à entretenir et sa large gamme de logiciels et d'options disponibles le rendent encore plus convivial et capable.
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