Occasion AIXTRON 2400G3 HT #9270060 à vendre en France

AIXTRON 2400G3 HT est un réacteur CCS de pointe vendu par AIXTRON AG. Il est conçu pour fournir un débit élevé de procédés de dépôt en couches minces et faciliter l'excellente croissance de films monocristallins de semi-conducteurs III-V. Ce réacteur PECVD est adapté à des applications en science des matériaux, telles que le silicium cristallin sur isolant (SOI) et les micro-systèmes électromécaniques (MEMS). Il présente une configuration modulaire avec plusieurs chambres de procédés, telles qu'une chambre CCS, deux chambres à plasma, une chambre tampon et deux tubes de procédés. La chambre CCS, positionnée au centre de l'outil de grappe, comporte un CSC multipolaire à 6 passages où le gaz de procédé pénètre au centre de la chambre, puis circule vers les parois de bord où il est atomisé. Cette conception de tête de douche permet une répartition uniforme des composants et une excellente homogénéité des gaz, assurant un haut niveau de reproductibilité de la vitesse de dépôt. A la fin du processus de dépôt, l'équipement de cyclage à température rapide permet un temps de refroidissement rapide pour permettre un contrôle précis de la couche. Dans les deux chambres à plasma adjacentes, la puissance est générée soit à l'aide d'une micro-onde (MW), soit à l'aide de l'une quelconque des autres sources de plasma disponibles. La haute température et la pression permettent la production de films minces de haute qualité sur de grandes surfaces. Les deux tubes de procédé, destinés à être montés sur les deux chambres à plasma, sont utilisés pour le chargement et le déchargement de substrat, ainsi que pour la distribution de gaz à chaque chambre de dépôt. AIXTRON 2400 G3-HT propose également une chambre tampon installée entre le CCS et les deux chambres à plasma. Cette chambre sert de tampon pour le processus de dépôt, contribuant à stabiliser les conditions du système et évitant les fluctuations de vitesse de dépôt. De plus, la chambre tampon peut être utilisée comme chambre de recuit/refroidissement pour homogénéiser davantage la température et la pression. En outre, le 2400 G3 HT est livré avec un logiciel de contrôle des procédés AIXTRON de pointe, le logiciel S utilisé pour l'acquisition de données et la surveillance du processus de dépôt. L'interface graphique de l'unité permet aux utilisateurs de configurer tous les paramètres en temps réel, rendant la machine conviviale et efficace.