Occasion AIXTRON 2400G3 HT #9395960 à vendre en France

AIXTRON 2400G3 HT est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à haut rendement, à grande surface et en cage fermée. Le réacteur est adapté pour le dépôt d'un large éventail de matériaux, tels que métaux, oxydes et nitrures, sur des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre. Il dispose d'une configuration à trois chambres pour une flexibilité optimale de la configuration du réacteur : une chambre d'amorçage de serrure de charge, une chambre de procédé et une chambre de post-traitement. La chambre principale abrite une zone de processus de dépôt vertical et une fenêtre de réacteur à quartz à vue directe avec un obturateur inclus pour surveiller le processus de dépôt. Une tête de douche enduite de céramique s'étend à partir de la partie inférieure chauffée de la chambre, et sert à disperser le gaz réactif et purge la chambre lors de l'amorçage et de l'arrêt du processus. Le gaz réactif est introduit dans le procédé par un injecteur de gaz à fente de haute pureté situé sur le côté de la chambre. AIXTRON 2400 G3-HT est équipé de deux systèmes de régulation de température haute technologie : une unité de refroidissement/chauffage thermoélectrique assurant un contrôle de température entre 10 ° C et 600 ° C et un système de chauffage par rayonnement infrarouge. Ceci est couplé à un système de commande mécanique interne qui peut faire tourner le porte-plaquettes pour assurer un chauffage et un refroidissement uniformes sur tout le rayon des plus grands diamètres de plaquettes transformables. Le réacteur est également très flexible avec des inserts faciles à installer offrant des conditions de croissance flexibles pour une gamme de tailles de plaquettes. Ces inserts peuvent également être utilisés pour des matériaux de substrat présentant des désadaptes à la dilatation thermique. De plus, les alimentations RF et DC offrent une excellente reproductibilité des procédés et des dépôts. 2400 G3 HT est conçu avec la sécurité en tête. Il dispose d'un arbre d'évent éjectable et résistant aux processus pour un fonctionnement fiable sous vide. L'injecteur de gaz est conçu pour éviter la contamination et minimiser l'évacuation des gaz de procédé de la chambre principale. Il comprend également le collage statique et la mise à la terre étendue qui assure un contrôle sûr et efficace du comportement des particules. De plus, le réacteur utilise un système d'interception et de PLC pour contrôler l'accès à la chambre assurant la sécurité humaine. Dans l'ensemble, le réacteur AIXTRON 2400 G3 HT est une solution avancée et fiable pour des applications à forte intensité de processus. Sa configuration à grande surface permet une large gamme d'applications de plaquettes pour les métaux, les oxydes et les nitrures tout en assurant une surveillance fiable des processus et un chauffage et un refroidissement uniformes. En outre, 2400G3 HT est conçu avec la sécurité et le contrôle des processus en tête, fournissant des fonctionnalités avancées telles que les perturbateurs de mouvement et les alimentations RF.