Occasion AIXTRON 2600G3 HT #9270065 à vendre en France

AIXTRON 2600G3 HT est un réacteur conçu pour la recherche et le développement de nouvelles applications de semi-conducteurs, en particulier les procédés à haute température (HT). Ce réacteur est équipé d'un équipement de régulation de température avancé, qui est capable de températures jusqu'à 400 ° C Il dispose également d'une paire assortie d'assemblages de suscepteurs et de suscepteurs tridimensionnels (3D) ainsi que de grilles d'injection de gaz linéaires et coniques et de systèmes de contrôle de mouvement de haute précision pour un positionnement précis du substrat. AIXTRON 2600 G3 HT est un système haute performance avec une grande flexibilité de processus pour de nombreuses applications de film et d'épitaxie. La chambre de réaction a une large gamme de conception offrant jusqu'à 4800W de puissance, avec des puissances instantanées à 200-400W. Il dispose également d'une unité de puissance modulée qui peut permettre la variation de la fréquence et de la puissance crête pour les processus de dépôt de réglage fin. 2600G3 HT dispose d'une machine de contrôle des processus intégrée et avancée qui prend en charge les programmes de dépôt définis par l'utilisateur avec contrôle automatisé des processus. Son sous-système contrôlé par ordinateur surveille et ajuste les paramètres du processus pendant le dépôt, tels que le débit de gaz source, la puissance du plasma, la température du substrat, la polarisation du substrat et la pression du gaz inerte. 2600 G3 HT est conçu avec des systèmes à ultra-haut vide (UHV), qui peuvent gérer les processus à haute température et réduire le risque de contamination. Ses paramètres de conception rendent l'outil adapté à la production de semi-conducteurs composés tels que GaN, GaAs et ZnSe, ainsi qu'à une large gamme de composés tertiaires. L'utilisation de l'AIXTRON 2600G3 HT est bénéfique pour les chercheurs et les ingénieurs dans les industries optique et LED, car ce réacteur est également adapté pour le dépôt en couches minces avec des matériaux optiques, y compris la basse température (LT) et le silicium amorphe hydrogéné (a-Si : H). Pour assurer la sécurité et la cohérence des performances, l'actif dispose de systèmes de diagnostic avancés pour détecter les conditions de fonctionnement anormales. Ses diagnostics avancés aident à réduire le risque de contamination en surveillant les conditions de chambre et les niveaux de pression du gaz. Dans l'ensemble, le réacteur AIXTRON 2600 G3 HT est le modèle idéal pour la recherche et le développement de produits pour les industries des semi-conducteurs, LED et optiques. Il est sûr, fiable, et peut exécuter des processus HT ainsi que d'atteindre un contrôle de processus précis. Ses processus automatisés et ses diagnostics intégrés donnent aux chercheurs l'assurance que leurs travaux et leurs résultats sont de qualité constante.