Occasion AIXTRON AIX 2400 G3 HT #293725009 à vendre en France

AIXTRON AIX 2400 G3 HT est un réacteur CVD conçu pour le dépôt de couches diélectriques, semi-conductrices et ultra-minces à haut k. AIXTRON AIX 2400 G3/HT dispose d'une chambre de processus qui fournit une large gamme de température et un environnement de faible masse thermique pour permettre des temps de montée en vitesse et un débit élevé. Il a une grande surface de dépôt et peut accueillir jusqu'à 30 substrats standard jusqu'à 200mm. Il dispose d'un générateur RF haute puissance, qui peut fournir une puissance RF jusqu'à 15kW et des pressions jusqu'à 100 milli Torr (mTorr). Il dispose d'un régulateur de température haut de gamme qui peut contrôler avec précision des températures allant jusqu'à 800 ° C Il dispose également d'un moniteur automatique de concentration de dopant. AIX 2400 G3 HT utilise une conception brevetée de réacteur à flux de liner, offrant une homogénéité supérieure des procédés, une excellente vitesse de dépôt, une production réduite de particules et une uniformité améliorée des substrats. Le réacteur à flux fournit une source régulière de gaz réactifs du haut du réacteur. Les gaz sources sont alimentés par la chemise et mélangés dans la chambre de mélange pour éliminer la contamination par le soufre, ce qui permet un meilleur contrôle de la dose du matériau. L'intérieur de l'AIX 2400 G3/HT est équipé de composants en aluminium résistant à la chaleur élevée et d'une isolation spéciale. La chambre de procédé est faite d'un acier inoxydable durable pour assurer une longue durée de vie. AIXTRON AIX 2400 G3 HT a avancé SPC et des fonctions de contrôle de processus qui offrent aux utilisateurs un processus d'optimisation facile et rapide. En mode de surveillance finale, AIXTRON AIX 2400 G3/HT peut effectuer un processus de surveillance automatique en utilisant un testeur de spectres hors ligne. Enfin, AIX 2400 G3 HT est conforme aux normes SEMI E84 et RoHS. Il comporte une combinaison puissante de caractéristiques de conception qui fournissent des performances de processus de matériaux de pointe, l'uniformité et la répétabilité.