Occasion AIXTRON AIX 2400 G3 HT #9243847 à vendre en France
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Vendu
ID: 9243847
Style Vintage: 2004
MOCVD System
Power supply: 14,400 kVA
2004 vintage.
AIXTRON AIX 2400 G3 HT est un réacteur à quartz large et à plusieurs chambres conçu pour les procédés de dépôt épitaxié à haut débit. Sa technologie de base, une haute température, une grande capacité, un équipement à tube de quartz, lui permet de produire des dispositifs à couches minces nanostructurées de qualité commerciale. AIXTRON AIX 2400 G3/HT est l'un des réacteurs les plus avancés disponibles aujourd'hui et est extrêmement adapté pour les applications semi-conductrices et optoélectroniques, avec un bilan avéré dans les technologies de couches minces organiques et la fabrication d'écrans de grande surface. AIX 2400 G3 HT est composé de deux chambres de processus opposées indépendantes. La première chambre est la chambre source, qui contient une source donneuse isolée séparément, un creuset à commande thermique, ainsi qu'un porte-substrat obturé, dont la position peut être ajustée finement pour assurer une uniformité de dépôt lors du traitement. La deuxième chambre est la chambre de réaction, qui est équipée de tubes de quartz chauffés indépendamment qui alimentent en espèces gazeuses une boîte à gaz. AIX 2400 G3/HT utilise une gamme complète de techniques standard de libération de précurseurs, y compris l'injection dynamique en zone divisée et en zone fractionnée pulsée, ainsi qu'une sélection de procédés de dépôt en couche mince déjà établis, y compris le dépôt en couche atomique (ALD), le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) et le dépôt chimique en phase vapeur assisté par filament chaud (CVD). En outre, AIXTRON AIX 2400 G3 HT peut accueillir une gamme variée de structures de dispositifs, des canaux semi-conducteurs composés à grande mobilité aux structures d'oxyde à couches minces et empilements multicouches. AIXTRON AIX 2400 G3/HT offre aux utilisateurs la flexibilité de contrôler la température de l'environnement du catalyseur via un système intégré de gestion thermique situé à l'interface entre la source et la chambre de réaction. En outre, AIX 2400 G3 HT comprend une gamme de sondes de profilage haute résolution, permettant aux utilisateurs d'étudier dynamiquement l'évolution de leur processus en temps réel. AIX 2400 G3/HT est conçu pour fournir constamment une qualité de processus et un débit de produit supérieurs d'une manière très rentable. Son unité de sécurité intégrée surveille les paramètres de fonctionnement de l'ensemble de la machine pour maintenir le processus dans des limites prédéfinies et prévenir les déviations accidentelles. En outre, AIXTRON AIX 2400 G3 HT peut être programmé pour exécuter des processus macro et micro-échelle, permettant aux utilisateurs d'obtenir un niveau de contrôle de processus sans précédent sur leur processus de dépôt. AIXTRON AIX 2400 G3/HT a été conçu pour être un outil extrêmement robuste et polyvalent. Sa combinaison impressionnante de technologies de pointe et de contrôles de processus en font un excellent choix pour la recherche et les applications industrielles. Avec sa gamme complète de fonctionnalités, les utilisateurs peuvent être assurés que AIX 2400 G3 HT a la capacité de produire des appareils fiables et de haute qualité rapidement et de façon rentable.
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